圧電薄膜の成膜、評価技術とMEMS応用

≪各種薄膜材料と成膜技術、評価技術、最新動向≫

【提携セミナー】

主催：サイエンス＆テクノロジー株式会社

近年、MEMSデバイスの進化は進み、様々な電子製品において必要不可欠なものです。
その中でも圧電材料は活用がされており、更なる高性能化を求め、研究開発が進められております。

本セミナーでは、各種圧電薄膜材料や成膜技術といった基礎知識から薄膜の評価手法、最新研究動向を解説！

セミナー趣旨

PZT薄膜を中心とした圧電薄膜のMEMSデバイス応用の研究開発が活発化している。
圧電MEMSの特徴的な基本技術は、圧電薄膜材料、薄膜化、および圧電評価技術である。本講演では、これらの技術について解説するとともに、将来のデバイス開発を目的とした研究例を紹介する。

得られる知識

• 圧電薄膜の材料評価、成膜および測定技術

受講対象
圧電薄膜の研究開発にこれから従事する技術者を対象
予備知識は特に不要です

担当講師

神戸大学 大学院工学研究科 機械工学専攻 センシングデバイス工学分野 教授　神野 伊策　氏

【専門】薄膜、圧電、MEMS

セミナープログラム（予定）

１．圧電MEMSの特徴および応用例
1.1　MEMS技術の中における圧電MEMS
1.2　圧電MEMSデバイスの応用例

２．圧電薄膜材料とその成膜技術
2.1　圧電材料
2.2　PZT材料
2.3　非鉛圧電材料
2.4　薄膜化技術
2.5　スパッタ法
2.6　ゾルゲル法

３．圧電薄膜の評価技術
3.1　結晶構造評価
3.2　誘電特性・強誘電特性
3.3　信頼性評価
3.4　圧電定数の定義
3.5　圧電特性測定技術
3.6　ユニモルフ構造の力学
3.7　逆圧電定数および正圧電定数の測定

４．最近の研究動向

５．まとめ

□ 質疑応答 □

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2023/2/17（金）13:00～16:30

開催場所

Live配信セミナー(会社・自宅にいながら受講可能)

受講料

一般受講：本体40,000円＋税4,000円
E-Mail案内登録価格：本体38,000円＋税3,800円

E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で44,000円 (2名ともE-Mail案内登録必須／１名あたり定価半額の22,000円)

【テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合：受講料( 定価：35,200円／E-Mail案内登録価格 33,440円 )

定価：本体32,000円＋税3,200円
E-Mail案内登録価格：本体30,400円＋税3,040円

※１名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
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