表面処理

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【半導体製造プロセス入門】PVD装置(スパッタリング装置)の要点解説 [成膜装置の基本③]

今回は、成膜装置のうち、気相成長装置としてPVD（物理的気相成長）装置について解説します。   １．PVD（物理的気相成長）とは？ 気相成長装置には、エピタキシャル成長装置、CVD（化学的気相成長 …

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【半導体製造プロセス入門】CVD装置の種類・分類と特徴 [成膜装置の基本②]

前回の当連載では、成膜装置の分類をご紹介しました。 その成膜装置の分類のうち「気相成長装置」に該当するものとして、エピタキシャル成長装置、CVD（化学的気相成長）装置、PVD（物理的気相成長）装置、蒸着装置 …

技術のキホン

３分で分かる技術の超キホン 濡れ性とは？撥水性／親水性の基礎知識

本コラムシリーズの「界面活性剤とは？」の回では、異なる物質の境界で働く界面活性剤の基礎知識について説明しました。 今回は、界面科学における重要な前提知識「濡れ性」（ぬれ性）について簡単に解説いたします。 １ …

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【半導体製造プロセス入門】成膜装置の種類・分類と熱酸化装置 [成膜装置の基本①]

LSIは「膜」によって構成されています。 この膜を形成する「成膜装置」について4回にわたってご説明します。 今回は、成膜装置の分類（主な種類）の説明と、固相・気相成長装置である「熱酸化装置」を取り上げます。 …

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合金鋼(SCM材)の熱処理設計《重要ポイント厳選解説》

機械部品に用いられる鉄系の材料において、特に高機能部品に用いられる合金鋼の熱処理設計手法について説明したいと思います。 合金鋼として代表的なクロムモリブデン鋼（JIS記号SCM、Steelに Chromiu …

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研磨加工の基礎知識と設計上の注意点［加工の種類と原理・表面粗さとの関係など］

機械加工には、材料を塑性変形させる「塑性加工」と、材料の削り取りを行う「切削加工」があります。 また、切削加工には「(通常の)切削加工」、「研削加工」そして「研磨加工」があります。 今回のコラムでは、設計者 …

生産技術・設備技術

【生産技術のツボ】ろう付け欠陥（腐食）の原理と対策は？熱交換器の事例で解説

１．ろう付けの欠陥（腐食） （1）ろう付け（brazing）と酸化膜 母材よりも低い融点を持った金属の溶加材（ろう材）を溶融状態（液相）にさせて、母材を溶かさない状態（固相）で接合する方法です。 ろう材が毛 …

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そうだったんだ技術者用語　アブレシブ摩耗、アドヘッシブ摩耗、そして疲労摩耗

  摩耗の分類として、アブレシブ摩耗（abrasive wear）、アドヘッシブ摩耗（adhesive wear,凝着摩耗）、腐食摩耗（corrosive wear）、そして疲労摩耗（fatigu …

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そうだったんだ技術者用語　電解メッキ、無電解メッキ、そしてカニゼンメッキ

    電解メッキと無電解メッキ メッキ（鍍金）には、「電解（電気）メッキ」と「無電解メッキ」があります。 電解メッキでは、メッキを付ける母材を電池の陰極側につなげ、陰極として水溶液に入 …

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そうだったんだ技術者用語 ショットピーニング、ショットブラスト、そして残留応力

  部品に加わる応力が大きくなり、材料強度を超えると、破壊が起こりますが、破壊モードが引張り破壊の場合には、圧縮応力がすでに生じている場合は、この圧縮応力が、引張りに対しては抗力となります。 この …

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そうだったんだ技術者用語 エロージョン、コロージョン、そしてHICC

エロージョン（erosion）は「浸食」でコロージョン(corrosion)は「腐食」ですが、実際の不具合現象では、組み合わせで起こる場合も有ります。   エロージョンとは？ キャビテーションエロ …

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スパッタリング薄膜の品質について

  スパッタリング薄膜とは？ スパッタリングは、いわゆる薄膜技術の一つで、しかも代表的な技術といえます。 半導体のウェハプロセスで使われる膜の多くがスパッタリング膜です。 また液晶ディスプレイやL …

技術のキホン

３分でわかる技術の超キホン 「薄膜」とは？

    薄膜とは？ 薄膜は「はくまく」と呼びます。文字通り、薄い膜のことです。 膜そのものとして独立したもの（フィルターなどで使う膜や、薄～く延ばされた金箔など）のことをいう場合もありま …

技術のキホン

３分でわかる技術の超キホン　電気めっきとは

  めっきとは？ めっきは、よくメッキとカタカナで書きますが、工業の世界では、「めっき」とひらがなで表記します。 漢字は、「鍍金」です。 めっきと聞くと、「メッキが剥がれる」というのが、いちばん代 …