☆薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられる

プラズマの生成機構や特徴について解説します！

☆プラズマCVDやドライエッチングの原理、装置の構造、

処理条件の最適化法など解説します！

プラズマの基礎と

半導体プロセス・エッチング入門

【提携セミナー】

主催：株式会社R&D支援センター

◆セミナー趣旨

プラズマは現在では産業の広い分野で日常的に使われています。しかし、プラズマの原理やプラズマを用いることの利点については、あまり系統的に学ぶ機会がないと思います。現在の応用だけでなく、今後道具としてさらにプラズマを利用していくためには、その物理的な考え方、特徴を理解することが不可欠になります。そこで、本セミナーでは、まず前半で薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマ（非平衡プラズマと呼ばれる）の生成機構や特徴について解説します。後半ではそれらを踏まえて、プラズマCVDやドライエッチングの原理、装置の構造、処理条件の最適化法などについて説明します。

◆習得できる知識

半導体プロセスに用いられるプラズマの特徴と基礎、プラズマCVDの原理とSi系薄膜の膜質制御の考え方、ドライエッチングの原理と種々のエッチング手法などが習得できる。

◆受講対象

半導体プロセスや薄膜形成などに用いるプラズマについて、その基本的な機構、およびエッチングや成膜技術についての原理を理解したい方。

◆必要な前提知識

特にプラズマについての予備知識は必要ありません。基礎から解説します。

◆キーワード

半導体,プラズマ,プラズマエッチング,ドライエッチング,半導体プロセス,講演,セミナー

担当講師

東京電機大学 大学院工学研究科 非常勤講師　市川 幸美 氏

【学位】
工学博士

【専門】
プラズマプロセス、シリコン系太陽電池

【略歴】
1980年　武蔵工業大学大学院博士課程修了(工学博士)（プラズマ工学専攻）
1980年　カナダYork Univ.とMcMaster Univ.でポスドク
1982年　アメリカWright State Univ. Brehm Res. Lab.研究員
1983年　富士電機入社。　総合研究所にてアモルファスSi太陽電池の研究開発
2000年　半導体事業部にてパワー半導体デバイスのプロセス開発
2007年　富士電機アドバンストテクノロジー(株)取締役、兼）電子デバイス技術センター長としてワイドギャップ半導体デバイス（SiC,GaN）、太陽電池等の研究開発を統括
2013年　文科省）革新的エネルギー研究開発拠点形成事業（Future-PV Innovation)にて研究統括補佐としてナノワイヤー太陽電池の研究開発
2017年～2022年　東京都市大学総合研究所客員教授

セミナープログラム（予定）

1．プラズマの基礎
1-1.　プラズマ中の衝突現象とその定量的な取り扱い
1-2.　衝突反応の種類と反応速度定数の考え方
1-3.　Boltzmann方程式
1-4.　Boltzmann方程式から得られるプラズマの基礎方程式（拡散方程式、連続の式など）
1-5.　プラズマの生成（直流放電プラズマ）
1-6.　プラズマの生成（容量性結合RF放電プラズマ）
1-7.　プラズマの生成（誘導性結合RF放電プラズマ）
1-8.　プラズマの生成（大気圧低温プラズマ）

2．プラズマCVD
2-1.　プラズマCVDの特徴と原理（アモルファスSi薄膜を中心に）
2-2.　代表的なプラズマCVD装置
2-3.　製膜パラメータの考え方
2-4.　アモルファスSi堆積条件と高品質化

3．プラズマエッチング
3-1.　プラズマエッチングの特徴と原理（等方性、異方性）
3-2.　代表的なエッチング装置
3-3.　エッチングダメージ
3-4.　終点検出の原理

公開セミナーの次回開催予定

開催日

【LIVE配信】2023/12/4（月）12:30～16:30
【アーカイブ配信】12/5～12/19

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

受講料

非会員： 49,500円 （本体価格：45,000円）
会員： 46,200円 （本体価格：42,000円）

会員（案内）登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円（税込）から
★1名で申込の場合、46,200円（税込）へ割引になります。
★2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円（2人目無料）です。

※セミナー主催者の会員登録をご希望の方は、申込みフォームのメッセージ本文欄に「R&D支援センター会員登録希望」と記載してください。ご登録いただくと、今回のお申込みから会員受講料が適用されます。

※R&D支援センターの会員登録とは？
ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。

LIVE配信のご案内

こちらをご参照ください

備考

• 資料付（PDFデータでの配布）
  ※紙媒体での配布はございません。
  ※資料の無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

★【LIVE配信】、【アーカイブ配信】のどちらかご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。