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生産技術・設備技術

真空装置内における腐食の原因と腐食対策《材料別解説》

真空を利用した真空装置において、避けて通ることのできない「腐食」の原因と対策について紹介します。 １．真空装置に用いる機械要素・部材はなぜ腐食するのか 半導体前工程などに多用される「真空装置」には多種多様な …

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《真空技術の基礎》真空環境の5つの特徴がもたらす優位性と注意点

半導体製造の前工程などで基本技術となっている「真空」に関わる技術のTIPSを紹介します。 今回は、一般大気環境と真空環境下におけるふるまいの違いを取り上げます。 １．真空環境の特徴とは？ 真空環境には大まか …

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《遮熱塗料の基礎知識》顔料は二酸化チタン？道路用として酸化銅が注目される理由

  １．二酸化チタンの粒子径と用途 二酸化チタン（TiO2）は、赤外線と可視光を吸収せず、紫外線もUV-A光はほとんど吸収しません。 これに加えて屈折率が2.49と非常に高いため、二酸化チタン粒子 …

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【スロット塗工のツボ⑤】バックアップしない塗工方式 TWOSD (Tensioned Web Over Slot Die)

スロット塗工に関する当連載の5回目は「バックアップ無しスロット塗工」について解説します。   １．TWOSDの構成 一般のスロットダイでは、フィルムをバックアップロールにラップさせ、フィルム～ダイ …

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【スロット塗工のツボ④】同時重層のポイントを解説｜粘度と流量のバランスは？

当連載「スロット塗工のツボ」では、これまで３回にわたって、①「塗れる条件と塗工・乾燥のポイント」、②「薄く塗るか？厚く塗るか？」、③「スケールアップの注意点」を解説してきました。 今回は、多くの方からお問い …

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【スロット塗工のツボ③】スケールアップの注意点を解説｜狭幅パイロットから広幅の量産へ

スロット塗工（スロットダイコーティング）に関する連載コラムの３回目は、量産品を製造する際の留意点をまとめました。 スロットダイは配管とスロットを組み合わせたシンプルな設備であり、ツボさえ掴めばトラブル対策も …

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【スロット塗工のツボ②】薄く塗るか？厚く塗るか？適正なダイ構造と条件

スロットダイで塗る厚みにより、適正な設備仕様と条件が異なります。 各々の現象と考え方を紹介します。 １．粘性流動の基礎式 まず、スロット塗工の流動現象をイメージするために欠かせない流体力学の要点として、平行 …

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【スロット塗工のツボ①】実験室からRoll To Rollへ｜塗れる条件と塗工・乾燥のポイント

ラボ実験で開発した機能性フィルムを量産化する際、塗工方式を選定した上で量産に適した条件に調整します。スロット塗工を万能な方式と見なして採用される事も多いですが、実はあらゆる塗工条件を一台のスロットダイではカ …

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UV硬化型塗料の基礎知識｜硬化反応機構/材料/メリットなど《塗料/コーティング技術入門⑧》

当連載6回目「常温硬化型塗料／焼付硬化型塗料の樹脂硬化機構」の記事で紹介したように、塗膜の硬化をもたらす樹脂反応は様々ですが、大きく分けて時間経過で硬化するタイプと焼付によって硬化するタイプに二分されます。 …

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建築用塗料における塗膜欠陥の種類と対策《塗料/コーティング技術入門⑦》

建物の美観にも関わる外壁塗装は綺麗に仕上げておきたいものです。 もちろん塗装業者はノウハウを有しており通常は綺麗に塗装されますが、作業上のミスや塗料成分の影響で欠陥が生じてしまうことがあります。欠陥には「は …

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常温硬化型塗料／焼付硬化型塗料の樹脂硬化機構《塗料/コーティング技術入門⑥》

樹脂には熱可塑性と熱硬化性の2つのタイプがあります。 熱硬化性樹脂が主要な塗膜成分となる塗料では、原料となるモノマーやポリマー同士が反応して硬化し、塗膜を形成します。熱硬化性樹脂を形成する樹脂反応には、常温 …

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顔料の種類と顔料分散工程《塗料/コーティング技術入門⑤》

顔料というと色付けを目的とした材料という印象があります。 もちろん塗料では赤や白、黒などの色付けを目的とした着色顔料が使われていますが、実際には体質顔料や防錆顔料などの色付け以外を目的とした顔料の方が多く配 …

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用途別の様々な塗料を紹介(粉体塗料/船底用/道路用/紫外線硬化型 他)《塗料/コーティング技術入門④》

連載の2、3回では塗料の主な用途先である建築・自動車向け塗料の基本について解説しました。 用途の約半分を占める建築・自動車向けがメインですが、もちろんこれらの用途以外にも使われています。 水中で少しずつ溶け …

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自動車向け塗料の基本｜下塗り/中塗り/上塗りの概要を解説《塗料/コーティング技術入門③》

建築物に次いで塗料がもっとも使われるのは自動車です。 日本の塗料業界は自動車産業への依存度が他国よりも高く、大手塗料メーカーにとって自動車メーカーは重要な顧客です。 自動車用に使われる塗料には主にボディー用 …

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建築向け塗料の基本《塗料/コーティング技術入門②》

塗料が最も多く使われるのは建築物です。 紫外線や雨水から建築物を守るのに欠かせず、塗料が無ければ建物はすぐに劣化してしまうでしょう。外壁や屋根には使われており、内装に壁紙を使用しない場合は内壁にも塗料が使わ …

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塗料の機能・原料・分類法《塗料/コーティング技術入門①》

建築物や自動車、家電製品など、塗料は様々な分野で使われています。 塗料は色付けだけではなく、鉄の錆び止めといった被塗物を保護する目的でも使われ、主に「3つの機能」を付与するために使用されています。 塗料の主 …

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【半導体製造プロセス入門】液相成長系の装置(メッキ装置、塗布装置) [成膜装置の基本④]

今回は成膜装置のうち、液相成長法の装置をご紹介します。   １．メッキ装置 微細化された多くのロジックLSIでは、配線には銅が使われています。 これは配線遅延を低減するためなのですが、銅はCVDや …

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【半導体製造プロセス入門】PVD装置(スパッタリング装置)の要点解説 [成膜装置の基本③]

今回は、成膜装置のうち、気相成長装置としてPVD（物理的気相成長）装置について解説します。 （※PVDの基礎知識は「３分でわかる 成膜技術”PVD”とは？CVDとの違いは？」をご参照ください）   …

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【半導体製造プロセス入門】CVD装置の種類・分類と特徴 [成膜装置の基本②]

前回の当連載では、成膜装置の分類をご紹介しました。 その成膜装置の分類のうち「気相成長装置」に該当するものとして、エピタキシャル成長装置、CVD（化学的気相成長）装置、PVD（物理的気相成長）装置、蒸着装置 …

３分でわかる技術のキホン

３分でわかる 濡れ性とは？撥水性／親水性の基礎知識

本コラムシリーズの「界面活性剤とは？」の回では、異なる物質の境界で働く界面活性剤の基礎知識について説明しました。 今回は、界面科学における重要な前提知識「濡れ性」（ぬれ性）について簡単に解説いたします。 １ …

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【半導体製造プロセス入門】成膜装置の種類・分類と熱酸化装置 [成膜装置の基本①]

LSIは「膜」によって構成されています。 この膜を形成する「成膜装置」について4回にわたってご説明します。 今回は、成膜装置の分類（主な種類）の説明と、固相成長装置である「熱酸化装置」を取り上げます. また …