・半導体ガスセンサ設計：半導体構造制御／電極設計／接合効果をポイントに！

・質問・相談も遠慮なく！

半導体ガスセンサの高感度化設計指針

【提携セミナー】

主催：株式会社情報機構

講師より／本セミナーのポイント

半導体ガスセンサの設計指針として，①半導体の構造制御，②電極設計，③接合効果，を紹介する。①はカーボンナノチューブの表面処理と金属酸化物の形態制御によってガスに対する応答を増大させた事例，②は電極間ギャップを矮小化させるギャップサイズ効果もしくは電極-粒子間の界面長さを増加させる界面効果によってガスに対する応答を増大させた事例，③は接合させる組合せによって特定のガスに対する応答を増大させた事例に加え，接合形成の可視化事例を紹介します。

◆受講後、習得できること

• 半導体ガスセンサをめぐる概況・市場・社会的ニーズ
• 半導体ガスセンサのための材料設計・制御方法・手法
• 半導体ガスセンサの研究開発事例・応用研究事例
• 半導体ガスセンサの今後の展望・技術的課題・可能性

◆受講対象者

• 半導体メーカ、半導体部品・材料メーカの研究開発者
• 材料の研究開発者、特にナノレベルの制御・加工を行っている方
• 半導体ガスセンサや気体のセンシングデバイスの研究開発に従事している方・これから着手したい方　等

担当講師

熊本大学 大学院先端科学研究部　物質材料生命工学部門　機能材料設計学分野

准教授 博士（工学）

橋新 剛 先生

セミナープログラム（予定）

▼第1部

1．はじめに：ガスセンサの市場

2．半導体ガスセンサの特徴
2.1 ガス検知原理
2.2 評価装置の概略

3．半導体の構造制御
3.1 カーボンナノチューブ（CNT）
3.1.1 架橋型CNT，直接成長型CNTによる応答の違い
3.1.2 CNTへの炭素欠陥の導入
3.2 金属酸化物
3.2.1 形態制御：WO3, SnO2
3.2.2 元素ドープ：F doped-SnO2

▼第2部

4．電極設計
4.1 ギャップサイズ効果
4.1.1 酸化性ガスへの効果：NO2，Cl2
4.1.2 還元性ガスへの効果：VOC（キシレン，トルエン，ベンゼン）
4.2 界面効果
4.2.1 電極種の選択効果：Pt, Au, Pd
4.2.2 ガス種（酸化性ガス：NO2, 還元性ガス:H2S）による違い

▼第3部

5．接合効果
5.1 組合せによる選択検知
5.1.1 金属酸化物-CNT（WO3-CNT, SnO2-CNT）
5.1.2 金属触媒-CNT（Ni-CNT）
5.1.3 複合酸化物（MgO-Fe2O3）
5.2 接合形成の可視化
5.2.1 走査トンネル分光法(STS)による電子状態密度計測
(a) 金属酸化物-CNT: SnO2 on CNT
(b) 金属酸化物内包CNT: SnO2 in CNT，TiO2 in CNT
5.2.2 ケルビンプローブフォース顕微鏡(KPFM)による表面電位計測
(a) 薄膜：CuO-SnO2
(b) 粒子：MgO-Fe2O3

6．まとめ

＜質疑応答＞
＊Zoomウェビナーの機能「Q＆A」をご利用いただけます。
＊またお話できる方は、口頭質問も可能です。適宜ミュートを解除致します。
＊セミナー受講後のメール質問・相談も歓迎します。（量や内容次第では回答しかねることもございます。ご了承くださいませ。）

公開セミナーの次回開催予定

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備考

●配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
（開催1週前～前日までには送付致します）。
＊準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
（土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）

●当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
（全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）

●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり
無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

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