薄膜の剥離メカニズムと密着性改善

《スパッタ・蒸着膜の剥離トラブルに対処する際に知っておくべきこと》

【提携セミナー】

主催：サイエンス＆テクノロジー株式会社

◆　セミナー趣旨

本セミナーでは、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、できるだけ平易に解説します。特に、界面や表面、膜応力や剥離・破壊の基本知識と、密着性改善の考え方、密着力の評価方法について詳しく解説します。具体例として、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、さらに樹脂コーティング膜等についても実例を挙げながら解説します。さらに、様々な剥離形態をどのように観察して剥離発生の要因を考えるか、実際に剥離が発生した場合に具体的にどのように対処するかについてクローズアップします。

初学者、中堅技術者で薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方、さらには品質管理等で密着性の評価技術の本質を理解したい方に適した内容です。本講座を通じて、密着性の概略を把握していただき、現象の本質を理解して、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。

◆　得られる知識

• 薄膜の剥離・破壊に関わる基礎知識、評価方法、解析方法
• 薄膜の応力や界面などの微視的構造の基礎知識
• 剥離の観察方法
• 薄膜の剥離トラブルに直面した時の具体的な対処手順
• 薄膜の様々な剥離ﾓｰﾄﾞに応じた、材料設計の考え方

◆　対象

薄膜材料・デバイスの設計開発、製造プロセス、品質管理にかかわる中堅技術者、初学者

担当講師

ペルノックス(株) ( 荒川化学工業(株) )　開発統括部 開発センター長 工学博士　岩村　栄治 氏

セミナープログラム（予定）

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2021年3月22日（月） 10:30～16:30

開催場所

Live配信セミナー（リアルタイム配信）　※会社・自宅にいながら学習可能です※

受講料

【一般受講】本体45,000円＋税4,500円
【E-mail案内登録価格】本体42,700円＋税4,270円

※お申込後、セミナー主催者（サイエンステクノロジー社）がS&T会員登録をさせて頂きます。
（S&T会員登録はセミナー受講に必要な登録であり、E-mail案内登録とは異なります。）
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（Live配信/WEBセミナー受講限定）

【一般受講】本体32,000円＋税3,200円
【E-mail案内登録価格】本体30,400円＋税3,040円

※１名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
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※他の割引は併用できません。

配布資料

• 製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
  ※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。
  ※開催日の４～５日前に発送します。
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  ※開催まで4営業日～前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が開講日に間に合わない可能性がありますこと、
  ご了承下さい。Zoom上ではスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。

オンライン配信のご案内

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備考

※資料付
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お申し込み方法

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