半導体微細構造に関わる表面・界面の物性の基礎と応用技術【提携セミナー】
| 開催日時 | 未定 |
|---|---|
| 担当講師 | 神谷 格 氏 |
| 開催場所 | 未定 |
| 定員 | - |
| 受講費 | 未定 |
半導体微細構造に関わる
表面・界面の物性の基礎と応用技術
【提携セミナー】
主催：株式会社R&D支援センター
◆セミナー趣旨
「表面は悪魔が造った」というのはパウリの有名な言葉ですが、今日に至るまで、物質表面の完全な制御は実現されていません。一方、物質は微細化すると、体積に対する比表面積が増大し、表面の影響は排除できず、微細化された物質の中でも量子構造はその最たるものです。
2023年度のノーベル化学賞はコロイダル量子ドットの開発と発展に授与されましたが、実はこの研究の鍵となったのは表面制御技術です。化学者達は遡れば遅くとも既に紀元4世紀にはナノ粒子を合成・利用し始めていましたが、このナノ粒子電子物性を十分に利用することは今日もまだ容易ではありません。nmオーダーで大きさを制御した半導体ナノ粒子の合成技術もまた、20世紀半ばには確立されていますが、エピタキシャル成長された量子構造の様に発光させることは困難でした。こうしたコロイダル半導体を発光させたことが昨年のノーベル賞に繋がりました。
演者はエピタキシャル・コロイダル両方のアプローチで量子構造の表面・界面制御に携わってきた立場から、これらの概説し、最新の成果を紹介することで、皆様に微細構造利用の研究・開発のヒントが提供できれば、と考えています。
◆習得できる知識
表面・界面の改質による材料の新たな利用法、センサー等表面・界面に敏感なデバイス開拓、に繋がるヒント。
◆受講対象
若手研究者からシニアな技術者まで、表面に関わる電子物性に関する基本的な知識に興味のある方
◆必要な前提知識
大学１，２年次の熱力学、化学で学ぶ基礎事項（全部マスターしている必要はありませんが、こうした内容に基き講義致します）
◆キーワード
半導体,微細化,量子構造,表面,界面,電子物性,界面活性剤,講演,セミナー,研修
担当講師
豊田工業大学工学部 教授 工学博士 神谷 格 氏
【専門】
半導体量子構造、表面界面物性、結晶成長
【略歴】
東京大学工学部物理工学科卒
同 大学院工学系研究科物理工学博士修了
理化学研究所、Bellcore、Imperial College、東大先端研、三菱化学 を経て
2004 より現職（豊田工業大学）
セミナープログラム（予定）
1．はじめに
1-1. ナノ構造・量子構造とは
1-2. 微細化の恩恵と困難
1-3. 量子構造と表面・界面
1-4. まとめ
2．量子構造の作製法
2-1. エピタキシー： MBE、MOCVD
2-2. コロイダル： 微粒子合成法
2-3. プロセシング
3．量子構造と表面・界面
3-1. 微細化と表面・界面
3-2. 表面・界面と電子物性
3-3. 界面活性剤
3-4. パッシベーション
3-5. 課題
4．最近の研究紹介
4-1. in situ と ex situ 処理
4-2. 原子層堆積法（ALD）
4-3. アモルファス被覆
4-4. 表面洗浄化
5．まとめ
公開セミナーの次回開催予定
開催日
未定
開催場所
未定
受講料
未定
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