液膜の塗布・乾燥プロセスの物理現象から膜厚ムラの形成機構と回避・抑制指針【提携セミナー】

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開催日時	未定
担当講師	白鳥英氏
開催場所	未定
定員	-
受講費	未定

○微細加工プロセスやフィルター・膜作製過程において品質を左右する「膜厚ムラ」に特化した講座！

○液膜流れの物理現象などの基礎から、基板端部の隆起や放射状スジムラの

形成メカニズムと回避・抑制指針、分析方法まで。

○実験的な観察と理論・数値シミュレーションの両面から解説します。

液膜の塗布・乾燥プロセスの物理現象から

膜厚ムラの形成機構と回避・抑制指針

【提携セミナー】

主催：株式会社情報機構

微細加工プロセスや各種フィルター・保護膜等の作製工程において、液膜の塗布・乾燥プロセスが欠かせないが、その過程で種々の膜厚ムラが発生する。これらの膜厚ムラは、作製する膜の用途によっては製品の寸法精度などの品質に直結する場合があり、これらのムラを回避・抑制する方策が望まれる。

このセミナーでは、主要な塗布方法であるスピンコート法と加熱乾燥を対象に、
(1) 基板端部に生じる隆起
(2) 基板全面に渡って生じる放射状スジムラ
に注目して、その形成メカニズムと回避・抑制指針について実験的な観察と理論・数値シミュレーションの両面から解説する。

◆受講後、習得できること

液膜流れに関する物理現象の特徴
液膜の塗布・乾燥プロセスで生じる各種膜厚ムラの機構と対策方針
実験・シミュレーション方法
など

◆受講対象者

各種フィルター・保護膜・微細構造等の機能性樹脂フィルムの製造工程に関わる研究開発者の方
メカニズムの理解に基づいて、応用範囲の広い対策を検討したい方

◆必要な予備知識など

この分野に興味のある方なら、特に予備知識は必要ない。

担当講師

東京都市大学　理工学部　機械システム工学科　准教授　白鳥英先生

セミナープログラム（予定）

１．塗布乾燥プロセスの概要
1.1　背景産業
1.2　塗布方式／乾燥方式
1.3　塗布乾燥プロセスで発生する各種膜厚ムラ

２．液膜内の熱流動に関する物理
2.1　関与する物理現象の概観
2.2　表面張力と重力
2.2.1　ラプラス圧
2.2.2　キャピラリ長
2.3　遠心力と粘性力
2.4　マランゴニ効果
2.4.1　自発的な膜厚ムラの発生
2.5　熱伝導・物質拡散
2.6　蒸発
2.6.1　蒸発と拡散の速度論

３．液膜流れの方程式
3.1　一般的な混相流の支配方程式
3.2　潤滑近似
3.3　スピンコート中の膜厚変化
3.4　液面乱れの緩和挙動
3.4.1　緩和挙動の時定数導出

４．各種膜厚ムラの形成過程と回避・抑制指針
4.1　基板端部の隆起
4.1.1　実験的観察
4.1.2　形成メカニズムの理解
4.1.3　回避・抑制指針
4.2　放射状スジムラ
4.2.1　実験的観察
4.2.2　形成メカニズムの理解
4.2.3　回避・抑制指針

５．膜厚ムラの分析方法

＜質疑応答＞