プラズマエッチングにおけるプロセス不良発生の検出とプラズマ耐性材料の評価技術【提携セミナー】
| 開催日時 | 【Live配信】2025/12/3 (水) 13：00∼17:00 , 【アーカイブ（録画）配信】2025/12/12まで受付（視聴期間：12/12～12/22まで） |
|---|---|
| 担当講師 | 笠嶋 悠司 氏 |
| 開催場所 | 【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。 |
| 定員 | 30名 |
| 受講費 | 49,500円（消費税込・資料付き） |
★ 異常放電や、チャンバー部品の腐食、パーティクルを抑えるための技術を詳解！
プラズマエッチングにおける
プロセス不良発生の検出とプラズマ耐性材料の評価技術
【提携セミナー】
主催：株式会社技術情報協会
講座内容
現在、半導体は産業上の一部品としてではなく、経済安全保障にも関わる極めて重要な「特定重要物資」として取り扱われています。半導体製造技術の最先端では2nm、更にはより以細な製造技術の研究開発も進められています。その一方、我が国の半導体産業の特長の一つは、車載用マイコンやセンサ用半導体、パワー半導体を始めとして最先端の微細製造技術を必ずしも必要としない半導体デバイスに競争力を有することです。本セミナーでは、これらいわゆるレガシーファブの量産ラインの前工程において、装置稼働率や歩留まりの向上に必要となる製造技術について紹介します。前工程の中でも、特に収益性に関わりが大きいプラズマエッチングプロセス及びその装置に関し、不良発生の抑止やメンテナンス費用削減、装置機差の低減等に資する技術について解説します。
習得できる知識
- プラズマエッチングプロセスにおける異常検出やプロセスモニタリング手法（パーティクル検出、異常放電検出、プロセスチャンバー状態診断等）
- プラズマプロセス装置チャンバー内部品部材のプラズマ耐性評価についての知識
受講対象
- 半導体製造工程におけるプラズマプロセス技術に携わっている方など
担当講師
(国研)産業技術総合研究所 先端半導体研究センター/センシング技術研究部門 主任研究員 博士(工学) 笠嶋 悠司 氏
セミナープログラム（予定）
1.はじめに
1.1 半導体の製造工程とプラズマプロセス
1.2 量産ラインにおけるプラズマプロセスの課題
1.3 半導体製造歩留まり
2.プラズマエッチングプロセスにおけるパーティクルの課題
2.1 パーティクル対策の必要性
2.2 パーティクルのその場検出手法
2.3 パーティクルの発生メカニズム
3.プラズマプロセスにおける異常モニタリング・検出技術
3.1 異常放電
3.2 異常モニタリング、検出手法
4.プラズマ耐性材料とその評価技術
4.1 プロセスチャンバー用部品部材の腐食とパーティクル発生
4.2 高プラズマ耐性材料
4.3 チャンバー部品部材のプラズマ耐性評価手法～セラミックス部材を例として
【質疑応答】
公開セミナーの次回開催予定
開催日
【Live配信】2025年12月3日（水） 13:00~17:00
【アーカイブ（録画）配信】2025年12月12日まで受付（視聴期間：12月12日～12月22日まで）
開催場所
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。
受講料
1名につき４９，５００円（消費税込・資料付き）
〔１社２名以上同時申込の場合１名につき４４，０００円（税込）〕
備考
資料は事前に紙で郵送いたします。
お申し込み方法
★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。
★【LIVE配信】、【アーカイブ配信】のどちらかご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。
※お申込後はキャンセルできませんのでご注意ください。
※申し込み人数が開催人数に満たない場合など、状況により中止させていただくことがございます。
おすすめのセミナー情報
注目のセミナー
《1日で学べる》溶接の基礎・完全習得講座（セミナー）
開催日時 【Live配信受講】 2026/1/26（月）9:30～16:30 , 【アーカイブ配信】 1/28-2/11
バッテリパックの設計手法・機能安全とBMS最新動向（セミナー）
開催日時 2025/12/1（月）10:00～16:00
回路設計問題解決クリニック≪配線遅延や電力、熱、ノイズの悩みを質問できる！≫（セミナー）
開催日時 未定
電子機器の熱対策クリニック《回路と機構両側面からの放熱アプローチ》（セミナー）
開催日時 2026/1/19（月）13:00～17:00
防爆施設における静電気対策（セミナー）
開催日時 2025/12/16（火）14:30～16:30
《初心者向け》やさしい図面の書き方 最新JIS製図と図解力完成（セミナー）
開催日時 2025/12/5(金) 10:00～17:00
社会人のための流体力学（セミナー）
開催日時 2025/12/8（月）10：00～17：00
人気のコラム
