プラズマプロセスにおける活性粒子の計測、モニタリングとプロセスの最適化【提携セミナー】

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開催日時	【Live配信】2025/8/25（月）13:00~17:00, 【アーカイブ】2025/9/3まで受付（視聴期間：9/3~9/13まで）
担当講師	竹田圭吾氏
開催場所	Zoomを利用したLive配信またはアーカイブ配信
定員	30名
受講費	49,500円(税込)

★プロセスプラズマ内における粒子の反応メカニズムを理解し、
経験則に頼り過ぎないプラズマプロセス開発の考え方と方法論を学ぶ

プラズマプロセスにおける活性粒子の計測、

モニタリングとプロセスの最適化

【提携セミナー】

主催：株式会社技術情報協会

講座内容

プラズマを用いたプロセス技術は、現代社会を支える半導体デバイスや機械・電気部品の製造現場で広く利用され、近年では医療や農水産などのバイオ応用についても研究されています。気体の放電現象を利用するプラズマは、その内部において物理・化学的な作用をもたらす数多くの中性活性粒子や荷電粒子が生成され、存在しています。それら粒子の相互的な反応により高度なプラズマプロセスが実現されることから、本技術の継続的な発展や新たな革新にはそれら粒子の計測・モニタリングを通じた反応メカニズムの理解とその最適化が必要です。そこで本講座では、まずプラズマ内における活性粒子の生成・消滅に関わる反応過程など基礎的な理解も深めて頂きながら、それら粒子の分析に利用される各種計測法の原理と具体的な実施例について説明させて頂きます。以上を通じて、プラズマプロセス内の活性粒子の計測とモニタリングを通じた反応メカニズムの理解、さらには得られた知識を基にしたプロセス条件の最適化を検討して頂く契機となることを期待します。

習得できる知識

・プロセスプラズマの基礎的特性について理解することができる。
・プロセスプラズマ内における活性粒子の生成・消滅（反応）過程について理解することができる。
・活性粒子や荷電粒子の各種計測法の原理を理解し、それらの実践方法について知ることができる。
・活性粒子による反応メカニズムを考慮したプロセス条件の最適化について検討することができる。