スパッタリングによる薄膜形成と膜質の改善、トラブル対策【提携セミナー】
おすすめのセミナー情報
| 開催日時 | 2023/1/20（金）10:30~16:30 |
|---|---|
| 担当講師 | 小島 啓安 氏 |
| 開催場所 | Zoomによるオンライン受講 |
| 定員 | 30名 |
| 受講費 | 55,000円(税込) |
★ 成膜条件の解説、膜はがれ、クラック対策と緻密な膜の作り方
スパッタリングによる
薄膜形成と膜質の改善、トラブル対策
【提携セミナー】
主催：株式会社技術情報協会
講座内容
スパッタ膜に関して、製造現場や開発現場で日々要求される改善、トラブル対策に直接役立つように、できるだけ詳細に具体的に解説します。
そのための、実務に役立つように、関連した基礎知識をわかりやすく解説します。
また、参加者が現在抱えている課題などに対しても、丁寧に解説したいと思います。
習得できる知識
- スパッタリング成膜プロセスについて理解が深まる
担当講師
(有)アーステック 代表取締役 名古屋大学 客員教授 博士(工学) 小島 啓安 氏
セミナープログラム（予定）
１．スパッタリングの基礎知識
1.1 スパッタの原理
1.2 蒸着とスパッタの違い（各成膜ファクター詳細比較）
1.3 平均自由行程
1.4 密着性・・・ 内部応力、評価
２．スパッタリングの重要要素技術
2.1 パルス電源
2.2 マグネトロン技術
2.3 高速成膜技術
2.4 ロータリーカソード
2.5 トピックス・・・HIPIMS 、シミュレーション、ガスフロースパッタ
３．スパッタリング応用編
3.1 スパッタ応用製品例
3.2 スパッタに関する改善、対策例
①ターゲット利用率を上げるには？
②アーキングを減らすには？
③アノード消失を防ぐには？
④コストを下げるには？
⑤密着性を上げるには？
⑥緻密な膜を作るには？
４．参加者からの質疑応答
＜事前質問も受け付けます、開催日の2週間前にはお知らせください＞
公開セミナーの次回開催予定
開催日
2023/1/20（金）10:30~16:30
開催場所
Zoomによるオンライン受講
受講料
1名につき55,000円(消費税込･資料付き)
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49,500円(税込)〕
備考
資料は事前に紙で郵送いたします。
お申し込み方法
★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。
※お申込後はキャンセルできませんのでご注意ください。
※申し込み人数が開催人数に満たない場合など、状況により中止させていただくことがございます。
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