ALDの基礎と原料の開発・選択

【提携セミナー】

主催：株式会社R&D支援センター

◆セミナー趣旨

ALD（Atomic Layer Deposition）技術の基礎とALDの原料として用いられる有機金属化合物の一般的特徴。ALD用原料としての揮発可能な原料の開発指針。多種原料の特徴とどれがALDに適しているかを解説する。また、原料の揮発・輸送手段の例とそれぞれの問題点をあげ、その対策法を具体的に紹介する。さらに現在、注目を集めている遷移金属薄膜のALD原料・成膜、ならびに近年盛んになった低温ALDについても触れる。最後に今後の発展が期待されるALE(Atomic Layer Eching)について、ALDの逆工程の応用についても提案する。

◆習得できる知識

目的の金属系膜をALDで作製できる。ALDの原料選択が的確になる。

◆受講対象

これからALDを始めようとする技術者やALD原料の開発者、ALDで問題を抱える技術者など

◆必要な前提知識

自然科学、化学について大学卒業程度の知識

◆キーワード

ALD,原子層堆積法,原料,成膜,セミナー,研修,講習

担当講師

気相成長(株) 代表取締役 理学博士　町田 英明 氏

【ご専門】LSI配線関連プロセス開発、CVD, ALD, プリカーサー, 有機金属
【ご活躍】ADMETA委員、Cat-CVD幹事、CVD反応分科会幹事、SKIL理事

セミナープログラム（予定）

１．はじめに
1-1　気相成長原料の過去・現在
1-2　気相成長技術の採用

２．ALDの基礎
2-1　化学吸着とALDサイクル
a　TMAとH2O
b　H2Oと反応しない原料
c　ALDサイクルの初期層
2-2　非化学吸着のよるALDサイクル
a　物理吸着とALDサイクル
b　問題点

３．原料の基礎
3-1　有機金属原料
a　有機金属とは
b　有機金属の合成法
c　有機金属の実用

４．原料の分子設計
4-1　揮発性
a　有機金属結合型
b　共有結合性有機金属
c　イオン結合性有機金属
d　蒸気圧向上法
e　蒸気圧測定法
4-2　低融点
a　共有結合とイオン結合
b　低融点化
4-3　分子軌道計算
a　分子間力
b　成長シミュレーション

５．原料の安全性
5-1　消防法危険物
a　引火性
b　発火性
c　水との反応性
d　爆発性
5-2　毒性
a　急性毒性・慢性毒性
b　特に注意すべき原料

６．原料の製造
6-1　量産性
6-2　コスト

７．原料の分解
7-1　熱分解
a　自己分解
b　雰囲気ガス
7-2　分解温度の調整
a　低温化
b　高温化
7-3　保存安定性
a　保存容器
b　保存状態
c　安定剤

８．原料の揮発・輸送
8-1　蒸気圧直接供給
a　ガス原料
b　微差圧駆動MFC
8-2　キャリアガスバブリング
a　液体原料
b　溶液原料 — タイプA, タイプB
c　蒸気圧と揮発性
8-3　ダイレクトリキッドインジェクション
a　液体原料
b　溶液原料
8-4　原料の同時供給
a　Pre-reaction
b　Adduct形成

９．原料各論
9-1　原料の種類と性質
a　タイプA
b　タイプB
9-2　族別原料の性質
a　1,2族
b　17族

１０．新しいALD状況
10-1　メタル膜ALD
a　ラジカル種を用いたALD
b　新原料を用いたALD
c　第３成膜種利用
10-2　アトミックレイヤーエッチング(ALE)
a　代表例
b　ALEのチャレンジ
10-3　低温ALD
a　TMAによるAl2O3
b　他の多量体原料
c　各種原料の室温反応性比較

１１．まとめ

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2024年2月9日（金） 13:00～17:00

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

受講料

非会員：  49,500円 （本体価格：45,000円）
会員：  46,200円 （本体価格：42,000円）

会員の方あるいは申込時に会員登録される方は、受講料が1名49,500円（税込）から

• 1名46,200円（税込）に割引になります。
• 2名申込の場合は計49,500円（2人目無料）になります。両名の会員登録が必要です。

※セミナー主催者の会員登録をご希望の方は、申込みフォームのメッセージ本文欄に「R&D支援センター会員登録希望」と記載してください。ご登録いただくと、今回のお申込みから会員受講料が適用されます。

※R&D支援センターの会員登録とは？
ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。

LIVE配信のご案内

こちらをご参照ください

備考

• セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
  ご自宅への送付を希望の方はご住所などをメッセージ欄に明記してください。
  無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。