酸化ガリウム(Ga2O3)・ルチル型GeO2の結晶成長・薄膜形成とデバイス応用【提携セミナー】
| 開催日時 | 【ライブ配信】 2026/11/26（木） 13:00～16:30 , 【アーカイブ配信】 2026/12/14（月） まで受付(視聴期間：12/14～12/24） |
|---|---|
| 担当講師 | 西中 浩之 氏 |
| 開催場所 | 【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。 |
| 定員 | - |
| 受講費 | 通常申込：本体45,000円＋税4,500円 |
酸化ガリウム(Ga2O3)・ルチル型GeO2の
結晶成長・薄膜形成とデバイス応用
ミストCVD法とGa2O3・ルチル型GeO2の結晶多形制御
論文や特許調査から酸化ガリウムやルチル型GeO2に関連する研究開発動向も解説
【提携セミナー】
主催：サイエンス＆テクノロジー株式会社
受講可能な形式：【ライブ配信】 or【アーカイブ配信】のみ
本セミナーでは、Ga2O3の結晶多形の特徴や形成技術、そのデバイス応用に向けた研究動向、ルチル型GeO2の結晶多形制御技術やそのデバイス動作などについて説明します。また、論文や特許調査から酸化ガリウムやルチル型GeO2に取り組んでいる研究機関などについても紹介します。
セミナー趣旨
本講演では、低コストの成膜方法として期待されているミストCVD法と、現在次々世代パワー半導体として注目されているGa2O3とルチル型GeO2の結晶成長について説明します。Ga2O3やGeO2は複数の結晶多形を持ち、適切なデバイス動作にはこれらの結晶多形を制御する必要があります。本セミナーではGa2O3の結晶多形の特徴や形成技術、そのデバイス応用に向けた研究動向、ルチル型GeO2の結晶多形制御技術やそのデバイス動作などについて説明します。また、論文や特許調査から酸化ガリウムやルチル型GeO2に取り組んでいる研究機関などについても紹介します。形成技術については講演者が開発したミストCVD法を中心に、MBE法やMOCVD法などの手法でのGa2O3とルチル型GeO2についての例を紹介します。
得られる知識
- 酸化ガリウム、ルチル型酸化ゲルマニウムの基礎物性
- ミストCVD法の原理
- 酸化ガリウム、ルチル型酸化ゲルマニウムの作製方法 ほか
受講対象
- 半導体メーカー、自動車部品メーカー、電機メーカー、化学メーカー、半導体装置メーカーなどの技術者・研究者
- 次々世代パワー半導体や半導体製造装置に興味のある方
担当講師
京都工芸繊維大学 電気電子工学系・教授 西中 浩之 氏
セミナープログラム（予定）
１．酸化ガリウムの結晶多形
1.1 結晶多形の結晶構造
1.2 結晶多形による特徴
1.3 結晶多形による研究開発動向
２．酸化ゲルマニウム
2.1 結晶多形の結晶構造
2.2 ルチル型酸化ゲルマニウムの特徴
2.3 研究開発動向
３．ミストCVD法
3.1 ミストCVD法の歴史
3.2 ミストCVD法の原理
４．酸化ガリウムの作製技術
4.1 成長方法全般
4.2 結晶多形の制御方法
５．ミストCVD法による酸化ガリウムの作製技術
5.1 α型酸化ガリウムの結晶成長
5.2 β型酸化ガリウムの作製技術
5.3 κ、γ、δ型酸化ガリウムの作製技術
６．ミストCVD法によるルチル型酸化ゲルマニウムの作製技術
6.1 ミストCVD法でのルチル型酸化ゲルマニウムの成長
6.2 ルチル型酸化ゲルマニウムの課題
７．パワーデバイスへの応用と今後の動向
7.1 酸化ガリウムのデバイス例
7.2 ルチル型酸化ゲルマニウムのデバイス例
□ 質疑応答 □
公開セミナーの次回開催予定
開催日
【ライブ配信】 2026年11月26日（木） 13:00～16:30
【アーカイブ配信】 2026年12月14日（月） まで受付(視聴期間：12/14～12/24）
開催場所
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。
受講料
一般受講：本体45,000円＋税4,500円
E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で49,500円 (2名ともE-Mail案内登録必須／１名あたり定価半額24,750円)
テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
受講料 39,600円(E-Mail案内登録価格 37,840円 )
定価：本体36,000円＋税3,600円
E-Mail案内登録価格：本体34,400円＋税3,440円
※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
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配布資料
- PDFテキスト(印刷可・編集不可)
※開催2日前を目安に、主催者サイトのマイページよりダウンロード可となります。
※アーカイブ配信受講の場合は配信開始日からダウンロード可となります。
備考
※講義の録音・録画・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
お申し込み方法
★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。
★【ライブ配信】【アーカイブ配信】のどちらかご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。
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