成膜の基本となる考え方から、現象の詳細、膜応力・密着力の評価方法と

材料設計への活かし方に至る技術を広く活用していただけるよう、分かりやすく解説します。

スパッタリング・真空蒸着

《基本知識とトラブル対策》

【提携セミナー】

主催：株式会社情報機構

本セミナーでは、スパッタや真空蒸着によって無機・金属薄膜を形成する場合に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、（1）一つの技術課題とその解決のキーポイントの例示→（2）その技術内容に関わる最低限知っておきたい基礎事項の紹介→（3）成膜や特性改善に関する具体例を使ったより詳しい解説、という順で平易に説明します。主にスパッタ膜を取り上げますが、成膜の基本となる考え方から、現象の詳細、膜応力・密着力の評価方法と材料設計への活かし方に至る技術を、広く活用していただけるよう解説します。現在成膜に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術をより深く理解して製品開発に取り組まれようとされる方、成膜品の品質検査や管理に関わる方に適した内容です。

◆受講後、習得できること

• 成膜と薄膜形成の基礎知識
• 膜質制御・剥離対策に必要な基礎知識
• 膜応力や密着力の評価方法と管理の基礎知識

◆受講対象者

• スパッタ・真空蒸着を用いた成膜技術に関わる初学者
• 中堅製品・プロセス開発技術者
• 成膜品検査や品質管理に関わる技術者

担当講師

ペルノックス株式会社 事業戦略室　室長 工学博士　岩村 栄治　氏

セミナープログラム（予定）

１．成膜プロセスと薄膜形成現象を理解したい

　　Introduction 成膜方法により生じる膜質変化の具体例

1-1.何に注目して成膜プロセスの制御を考えるのか
1-2.スパッタと真空蒸着の違い
1-3.成膜装置と真空をあつかうための必要最小限の基礎知識
1-4.薄膜の初期構造や微視的組織はどのように形成されるのか
1-5.膜形成プロセスを利用した膜質制御の具体例と成膜最適化の考え方
・段差被覆性
・ウルトラクリーンプロセスの利用
・マクロな膜構造の制御

２．膜の均一性・均質性を制御したい

　　Introduction 膜質を効果的に制御する具体例

2-1.スパッタリングの成膜環境
2-2.プラズマとは：制御パラメータと評価方法
2-3.イオン・高エネルギー粒子の照射現象
2-4.プラズマを利用した膜質制御の具体例
・膜質（密着性・比抵抗）の面内均一性
・硬質コーティングの多機能化

３．膜応力を低減したい

　　Introduction 膜応力が原因となった不具合とその対策の具体例

3-1.膜応力とは
3-2.応力発生のメカニズム
3-3.多層膜やパターニングされた薄膜の応力で注意する点
3-4.膜応力を低減させる成膜手法の考え方

４．密着力を良くしたい

　　Introduction よくある剥離トラブル事の対応における失敗例

4-1.薄膜の密着力とは
・基板と薄膜の界面の構造
・異種材料界面がくっついている根本的な原因と界面に働く相互作用
・密着と粘/接着との違い
4-2.剥離を起こしている材料的要因を簡単に絞り込む方法
4-3.密着性を改善するには
・Griffithの破壊の考え方と剥離を起こさせない条件
4-4.密着性を向上させる様々な方策
4-5.密着性をどのように評価するか
4-6.スクラッチ試験による密着力測定と材料設計への活かし方

５．まとめ

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2024年3月13日（水）　10:30-17:00

開催場所

Zoomによるオンラインセミナー

受講料

【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】：1名47,300円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】：1名52,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき41,800円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

●録音・録画行為は固くお断り致します。

オンライン配信のご案内

★　Zoomによるオンライン配信

については、こちらをご参照ください

備考

※配布資料等について

●配布資料はPDF等のデータで配布致します。ダウンロード方法等はメールでご案内致します。

• 配布資料に関するご案内は、開催1週前～前日を目安にご連絡致します。
  
• 準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• セミナー資料の再配布は対応できかねます。必ず期限内にダウンロードください。

●当日、可能な範囲でご質問にお答えします。（全ての質問にお答えできない可能性もございます。何卒ご了承ください。）
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売などは禁止致します。

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