＜１日速習！よくわかる＞

半導体洗浄の基礎と要点、困ったときの対策

■半導体以外の洗浄をしている技術者にも参考になるセミナーです■

【提携セミナー】

主催：サイエンス＆テクノロジー株式会社

★ 洗浄する目的は何か？　洗うとは？　「清浄・きれい」とは何なのか？
★ 半導体洗浄が直感で分かることを目指して、基礎現象・要点から困った時の対策まで1日で説明します。

◆　セミナー趣旨

半導体洗浄が直感で分かることを目指して、基礎現象・要点から困った時の対策まで1日で説明します。半導体にとって「清浄・きれい」とは何か？を改めて考え、水の流れを動画で眺めると、洗浄では何をしていて、何をどうしたら良いのかが感じ取れます。

ここでは、身近な流れの動画を見て感覚をつかみ、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れを可視化観察動画と計算例で理解します。超音波の効果についても流れと気泡の動画を見るとイメージが湧きます。今後、極めて微細パターンを洗浄する際に見落としがちなことも考えてみます。終わりには、足元をすくわれた時の視点と対策を紹介して締め括ります。工学の初歩から応用のつながりまで説明しますので、半導体以外の洗浄や洗浄以外のプロセス技術者にも参考になります。

＜得られる知識、技術＞

• 先端材料の洗浄方法を構成する要素
• 目的に合わせた「清浄」の定義
• キレイにするための表面の取扱い
• 流れの使い方・作り方
• 洗浄条件設計の盲点
• 生産プロセスに共通して潜在する工学現象（流れ・気泡などの動きと設計）

担当講師

横浜国立大学 名誉教授 反応装置工学ラボ・代表　羽深 等　氏

セミナープログラム（予定）

＜プログラム＞
１．洗う理由：汚れは何？いつ、どこからなぜやって来る？

２．一般の洗浄
（洗浄の４要素:温度、時間、化学、力学）

３．半導体の洗浄に特有のこと
（何故、そこまでして洗うのか）

４．先端技術情報
（半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会）

５．半導体洗浄の基礎現象
（薬液と流れの効果）
5.1 表面の現象とプロセス
（付着・脱離・引き剥がす・乾かす）
5.2 流れ、熱、拡散、反応
（洗う＝汚れを動かす操作）
5.3 装置内流れの種類
（完全混合、押出流れ、境界層）
5.4 流れの可視化観察
（「流れ」と「拡散」の感覚を動画で）

６．洗浄機内の流れと反応
6.1 枚葉式洗浄機
6.1.1 水の流れ（観察動画と計算例）
6.1.2 化学反応の例（表面反応もここまで分かる）
6.2 バッチ式洗浄機
6.2.1 水の流れ(観察動画と計算例)
6.2.2 水流を最適化（入口と出口で変わる）
6.3 超音波の働き、水と気泡の動き（観察動画）

７．洗浄の評価方法

８．狭い空間の洗浄

９．まとめ：困った時の視点と対策（境界層を壊そう！）

　　□質疑応答□

公開セミナーの次回開催予定

開催日

【LIVE配信】2023/11/13（月） 10:30～16:30

【アーカイブ配信】 2023/11/24（金） から配信開始（視聴期間：11/24～12/7）

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

受講料

【一般受講】本体50,000円＋税5,000円
E-Mail案内登録価格：本体47,500円＋税4,750円

E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料

2名で55,000円 (2名ともE-Mail案内登録必須​／１名あたり定価半額27,500円)

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
1名申込みの場合：受講料( 定価：40,150円／E-mail案内登録価格 38,170円 )

定価：本体36,500円＋税3,650円
E-mail案内登録価格：本体34,700円＋税3,470円

※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。

※お申込みフォームで【テレワーク応援キャンペーン】とご記載ください。
※他の割引は併用できません。

※お申込後、セミナー主催者（サイエンステクノロジー社）がS&T会員登録をさせて頂きます。
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配布資料

PDFデータ(印刷可・編集不可)
　※開催2日前を目安に、主催者サイトのマイページよりダウンロード可となります。
　※アーカイブ配信受講の場合は配信開始日からダウンロード可となります。

オンライン配信のご案内

※【Live配信（zoom使用）対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

※【WEBセミナー：アーカイブ受講対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

備考

※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

お申し込み方法

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