流れの可視化を踏まえた半導体洗浄技術のポイント【提携セミナー】

　　セミナー　　半導体/電子　　流れの可視化を踏まえた半導体洗浄技術のポイント【提携セミナー】

開催日時	2023/7/21（金）10:30～16:30
担当講師	羽深等氏
開催場所	【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。
定員	30名
受講費	非会員： 55,000円（本体価格：50,000円）会員： 49,500円（本体価格：45,000円）

水の流れを一つの軸として、半導体洗浄が直感でわかるようになる！

基礎現象の理解から困った時の対策までの考え方を1日で説明します！

流れの可視化を踏まえた半導体洗浄技術のポイント

◆受講者限定で見逃し配信（1週間：何度でも視聴可）を予定しております。

【提携セミナー】

主催：株式会社R&D支援センター

◆セミナー趣旨

水の流れを一つの軸にすると、半導体洗浄が直感でわかるようになってきます。それを目指して、基礎現象の理解から困った時の対策までの考え方を1日で説明します。

半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを考え、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何をどうすることなのかが感じ取れます。ここでは、身近な流れの動画を見て感覚をつかみ、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れを可視化観察動画と計算例で理解します。超音波の効果についても流れと気泡の動画を見るとイメージが湧きます。

最後には、足元をすくわれた時の視点と対策を紹介して締め括ります。最近のこととしては、半導体電子回路の微細化が進むことに伴って取り入れるべき視点についても考えてみます。

工学の初歩から応用のつながりまで説明しますので、半導体以外の洗浄や洗浄以外のプロセス技術者にも参考になります。

◆習得できる知識

以下のことが分かります。

先端材料の洗浄方法を構成する要素
「清浄」とは目的に合わせた操作であること
キレイにするための表面の取扱い方
洗浄するための水流と気泡の使い方と作り方
生産プロセスに共通して潜在する
基礎現象（流れ・気泡などの動きと設計）の考え方

◆受講対象

洗浄に関わって2～3年以内の技術者、洗浄技術を初めて指導・管理することになった管理者。

◆必要な前提知識

特に予備知識は必要ありません。
受講日までに、川の水の流れや雲の動きなどを意識して眺めて頂くと、役に立ちます。

◆キーワード

洗浄,半導体,流れ,洗浄機,超音波,評価,セミナー,講演,研修

担当講師

反応装置工学ラボラトリ代表博士（工学）
羽深等氏

【ご専門】
化学工学（反応工学）、半導体生産プロセス技術

横浜国立大学名誉教授、化学工学会シニア会員、化学工学会エレクトロニクス部会部会長、応用物理学会会員、日本結晶成長学会会員、米国化学会会員、米国電気化学会名誉会員、エレクトロニクス実装学会会員、空気清浄協会会員、よこはま高度実装技術コンソーシアム理事長

セミナープログラム（予定）

１．洗う理由：汚れは何？いつ、どこからなぜやって来る？

２．一般の洗浄（洗浄の４要素：温度、時間、化学、力学）

３．半導体の洗浄に特有のこと（何故、そこまでして洗うのか）

４．先端技術情報（半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会）

５．半導体洗浄の基礎現象（薬液と流れの効果）
5-1. 表面の現象とプロセス（付着・脱離・引き剥がす・乾かす）
5-2. 流れ、熱、拡散、反応（洗う＝汚れを動かす操作）
5-3. 装置内流れの種類(完全混合、押出流れ、境界層)
5-4. 流れの可視化観察（「流れ」と「拡散」の感覚を動画で）

６．洗浄機内の流れと反応
6-1. 枚葉式洗浄機
（１）水の流れの実例（観察動画と計算例）
（２）化学反応の例（表面反応もここまで分かる）
6-2. バッチ式洗浄機
（１）水の流れの実例（観察動画と計算例）
（２）水流を最適化した事例（入口と出口を変える）
6-3. 超音波の働き
（１）水と気泡の動きの実例（観察動画）

７．洗浄結果の評価方法

８．まとめ：困った時の視点と対策（境界層を壊そう！）

【質疑応答】