水の動きで読み解く半導体洗浄のポイント【提携セミナー】

半導体

水の動きで読み解く半導体洗浄のポイント【提携セミナー】

開催日時 【LIVE配信】2024/7/5(金) 10:30~16:30 , 【アーカイブ配信】7/8~7/15 (何度でも受講可能)
担当講師

羽深 等 氏

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

定員 30名 ※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
受講費 非会員: 55,000円 (本体価格:50,000円)
会員: 49,500円 (本体価格:45,000円)

水の動きを一つの軸として、半導体洗浄が直感でわかるようになる!

基礎現象の理解から困った時の対策までの考え方を1日で説明します!

 

水の動きで読み解く半導体洗浄のポイント

 

《大口径ウエハと微細パターンの扱い》

 

【提携セミナー】

主催:株式会社R&D支援センター

 


 

◆セミナー趣旨

水の動きを軸に半導体洗浄を読み解き、基礎現象の理解から困った時の対策までポイントを1日で説明します。

 

半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを意識し、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何をどうする操作なのかが直感で分かります。ここでは、さまざまな薬液の役割を紹介し、乾燥の要点にも触れた後、身近な流れの動画を見て感覚をつかみます。次に、大口径ウエハの枚葉式洗浄、バッチ式洗浄の流れを可視化観察動画と数値シミュレーション事例で具体的に理解します。超音波や手動操作で生まれる流れについても、流れと気泡の動画を見るとイメージが明確になります。今後、極めて微細なパターンを洗浄する場合に見落としがちな事についても示して行きます。
最後には、足元をすくわれた時の視点と対策のポイントを整理します。

 

「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して受講すると、特に効果があります。

 

◆習得できる知識

以下のことが分かります。

  • 先端材料の洗浄方法を構成する要素
  • 半導体にとって「清浄」とは何か
  • キレイにするための表面の取扱い方
  • 洗浄の水流と気泡の作り方、使い方と整え方
  • 微細パターン洗浄条件の盲点

 

◆受講対象

洗浄とは何かを学びたい初心者、洗浄に関わる要点をあらためて整理したい技術者、洗浄技術を初めて指導・管理することになった管理者、将来の大口径・微細パターン洗浄の問題点を見抜きたい技術者。

 

◆必要な前提知識

特に予備知識は必要ありません。
身近な流れ(蛇口から流れ落ちた水、川や雲の動きなど)を意識して眺めていただくと、役に立ちます。
「洗いたい場所に必要な量だけ薬液を届けること」を意識して下さい。

 

◆キーワード

洗浄,半導体,薬液,水の流れ,大口径ウエハ,超音波,評価方法,セミナー,講演,研修

 

担当講師

反応装置工学ラボラトリ 代表 博士(工学)
羽深 等 氏

 

【ご専門】
化学工学(反応工学)、半導体結晶ウエハ生産プロセス技術

 

【ご経歴等】
横浜国立大学名誉教授、化学工学会シニア会員、化学工学会エレクトロニクス部会長、応用物理学会会員、日本結晶成長学会会員、米国化学会会員、米国電気化学会名誉会員、エレクトロニクス実装学会会員、空気清浄協会会員、よこはま高度実装技術コンソーシアム理事長

 

セミナープログラム(予定)

1. 洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?

 

2. 洗浄の4要素(温度、時間、化学、力学):力学が最も大切である理由

 

3. 半導体の洗浄に特有のこと(洗浄で実現したい状態)

 

4. 先端技術情報(半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)

 

5. 半導体洗浄の基礎現象(薬液と流れの効果)
5-1. 化学で汚れを動かす操作:薬液の働き(付着・脱離・引き剥がす)と乾燥
5-2. 力学で汚れを動かす操作:流れ、熱、拡散
5-3. 装置内流れの種類(完全混合、押出流れ、境界層)
5-4. 流れの可視化観察(「流れ」と「拡散」の感覚を動画で)

 

6. 洗浄機内の流れと反応
6-1. 枚葉式洗浄機
(1)水の流れの実例(実機の観察動画とシミュレーションの例)
(2)ノズルのスイングを続ける工学的理由
(3)化学反応の例(表面反応もここまで分かる)
6-2. バッチ式洗浄機
(1)水の流れの実例(実機の観察動画とシミュレーションの例)
(2)水流を低コストで最適化した事例(入口と出口を変える)
(3)上下揺動で流れを巻き込む
6-3. 超音波の働き
(1)水と気泡の動きの実例(実機の観察動画)

 

7. 洗浄結果の評価方法

 

8. 狭い空間の洗浄(盲点と工夫)

 

9. まとめ:困った時の視点と対策(境界層を壊そう!)

 

10. まとめ:困らないように(地球環境は壊さない!)

 

【質疑応答】

 

公開セミナーの次回開催予定

開催日

【LIVE配信】2024/7/5(金) 10:30~16:30

【アーカイブ配信】7/8~7/15 (何度でも受講可能)

 

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

 

受講料

非会員: 55,000円 (本体価格:50,000円)
会員: 49,500円 (本体価格:45,000円)

 

会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円(税込)から

  • 1名で申込の場合、49,500円(税込)へ割引になります。
  • 2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、
    55,000円(1名当たり 27,500円)(税込)です。

 

※セミナー主催者の会員登録をご希望の方は、申込みフォームのメッセージ本文欄に「R&D支援センター会員登録希望」と記載してください。ご登録いただくと、今回のお申込みから会員受講料が適用されます。

 

※R&D支援センターの会員登録とは?
ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。

 

LIVE配信のご案内

こちらをご参照ください

 

備考

  • セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
    無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

 

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

★【LIVE配信】、【アーカイブ配信】のどちらかご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。

 

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