酸化ガリウム(Ga2O3)の結晶成長・薄膜形成とデバイス応用【提携セミナー】

Ga2O3の結晶成長・薄膜形成

酸化ガリウム(Ga2O3)の結晶成長・薄膜形成とデバイス応用【提携セミナー】

このセミナーは終了しました。次回の開催は未定です。

開催日時 2022/3/8(火)13:00~16:30
担当講師

西中 浩之 氏

開催場所

Live配信セミナー(会社・自宅にいながら受講可能)

定員 -
受講費 通常申込:44,000円
E-Mail案内登録価格: 41,800円

酸化ガリウム(Ga2O3)の結晶成長・薄膜形成とデバイス応用

 

α相 β相 κ相 γ相 4つの結晶多形における研究開発動向を解説

 

 

 

【提携セミナー】

主催:サイエンス&テクノロジー株式会社

 


 

次世代パワーデバイス材料として注目を集める酸化ガリウム(Ga2O3)。本セミナーでは、その結晶多形の特徴や形成技術、それぞれの課題について解説するとともに、ミストCVD法を中心に様々な手法でのそれぞれの結晶多形についての例を紹介します。さらにパワーデバイス応用に重要な不純物添加技術や混晶化技術についても言及予定です。

 

セミナー趣旨

酸化ガリウム(Ga2O3)は大きなバンドギャップと低コストで形成できるという特徴から新しいパワーデバイス半導体として大きな注目を浴びている。そのGa2O3は5つの結晶多形が存在し、その結晶多形によって異なる特徴を持つことから、それぞれ異なるデバイスへの応用が検討されている。

本セミナーでは、酸化ガリウム(Ga2O3)の結晶多形の特徴や形成技術、またそれぞれの課題などについて説明する。形成技術については講演者が開発したミストCVD法を中心に、MBE法やMOCVD法などの手法でのそれぞれの結晶多形についての例を紹介する。また、パワーデバイス応用に重要な不純物添加技術や混晶化技術についても紹介する。

 

得られる知識

  • Ga2O3の基礎物性
  • Ga2O3の結晶成長技術
  • Ga2O3の結晶多形制御
  • ミストCVD法の原理
  • Ga2O3の各種形成法

 

受講対象
電機メーカー、半導体メーカー、自動車部品メーカー、化学メーカー、半導体商社、半導体装置メーカー等など、パワー半導体や半導体製造装置に興味のある方。

 

担当講師

京都工芸繊維大学 電気電子工学系 准教授 西中 浩之 氏

 

セミナープログラム(予定)

1.酸化ガリウムの基礎物性
1.1 酸化ガリウムの結晶多形
1.2 酸化ガリウムの結晶多形別の特徴
1.3 結晶多形による研究動向(国内・海外)

 

2.酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
2.1 成長・薄膜形成方法
2.2 結晶多形の成長制御方法

 

3.ミストCVD法
3.1 ミストCVD法の歴史
3.2 ミストCVD法の原理
3.3 ミストCVD法のGa2O3以外への適用例

 

4.α相酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
4.1 α-Ga2O3の結晶成長
4.2 成長法
4.3 課題と高品質化
4.5 混晶化技術
4.6 デバイス動作(結晶成長から見た)
4.7 n型制御
4.8 p型制御

 

5.β相酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
5.1 β-Ga2O3の結晶成長
5.2 成長法
5.3 n型制御
5.4 混晶化技術
5.5 デバイス動作(結晶成長から見た)

 

6.κ相酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
6.1 κ-Ga2O3の結晶成長
6.2 成長法
6.3 強誘電体特性とHEMT
6.4 混晶化技術
6.5 高品質化

 

7.γ相酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
7.1 γ-Ga2O3の結晶成長
7.2 混晶化技術
7.3 成長法

 

8.結晶多形の制御方法

 

9.まとめと展望

 

□ 質疑応答 □

 

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2022/3/8(火)13:00~16:30

 

 

開催場所

Live配信セミナー(会社・自宅にいながら受講可能)

 

受講料

一般受講:本体40,000円+税4,000円
E-Mail案内登録価格:本体38,000円+税3,800円

 

※【テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合:受講料( 定価:35,200円/E-Mail案内登録価格 33,440円 )

定価:本体32,000円+税3,200円
E-Mail案内登録価格:本体30,400円+税3,040円

※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
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配布資料

・PDFテキスト(印刷可・複製不可)
※PDFデータは、マイページよりダウンロードして頂くか、E-Mailで送付いたします。
(開催前日~前々日を目安にダウンロード可、または送付)

 

オンライン配信のご案内

※【Live配信(zoom使用)対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

 

備考

資料付
※講義の録画・録音・撮影はご遠慮ください。

 

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

 

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