真空技術の基礎と真空システムの構築方法【提携セミナー】

　　セミナー　　生産/製造/加工技術　　表面処理/微細加工　　真空技術の基礎と真空システムの構築方法【提携セミナー】

開催日時	2025/1/30（木）　12:30-16:30　※途中、小休憩を挟みます。
担当講師	三好幸三氏
開催場所	【会場受講】[東京・大井町]きゅりあん5階第2講習室
定員	-
受講費	41,800円(税込（消費税10％）、資料付)

・真空技術を会場で学ぶ。

・装置の構成や周辺設備についても具体的に解説します

真空技術の基礎と真空システムの構築方法

《これから真空装置を扱う方へ》

【提携セミナー】

主催：株式会社情報機構

○講師より／本セミナーのポイント

真空装置は不純物を減らし、高品質な材料形成を可能にする製造設備です。半導体プロセスを中心にして20世紀後半から大きく発展してきました。近年では半導体だけで無く、発光素子、太陽電池、表示素子、バイオテクノロジー等様々な分野で使われています。

本セミナーでは真空技術について基礎から実践まで幅広く説明します。

真空そのものの基礎的な話に加え、真空装置に欠かせないプラズマの話、また、具体的な真空装置の構成や周辺のインフラ設備に関してまで幅広く解説します。

※前回に引き続き、今回も会場での対面形式のセミナーとしています。前回同様に是非遠慮なく質問・コメントを頂ければ幸いです。出来る限り皆様の実務に役立つ講義にしたいと考えております。

◆受講後、習得できること

真空そのものの知識
真空装置の構築方法
真空に不可欠なプラズマの知識
各種成膜装置、エッチングの知識
日々の管理ポイントとトラブルシューティング　等

◆受講対象者

これから真空装置を扱う方、真空装置の従事経験が浅い方
真空装置を扱ってはいるが、より良く使いこなしていきたい方　等

担当講師

アステラテック(株) 代表取締役博士（工学）三好幸三氏

＊希望者は講師との名刺交換が可能です

○略歴
1991年～精密機器メーカーの研究所勤務：液晶ディスプレイ素子、薄膜太陽電池の開発に従事
2002年～電気機器メーカー研究所にて色素増感太陽電池の開発に従事：（桐蔭横浜大学宮坂研究室との共同開発）
2010年桐蔭横浜大学より博士（工学）の学位を授与される
2012年「最先端研究開発支援プログラム」にて研究員を兼務：桐蔭横浜大学外学院工学研究科特任博士研究員／東京大学先端科学技術研究センター協力研究員
○主な実績・経験
・液晶ディスプレイ素子の新規エッチング手法の開発
・プラスチック材料の新規親水化処理方法の発明
・透明ソーラーセルの発明とプロセス開発および実用化（2002年）
※露光装置、洗浄設備、剥離装置、エッチング装置（ウェット、ドライ）といった量産設備や、各種成膜装置（PVD、CVD、MOCVD、ALD）、またFE-SEM、レーザー顕微鏡（新規実験室の設計・立上）の取扱いについて、多くの経験を有する。
※日本表面真空学会認定の真空主任技術者でもある。