圧電薄膜技術とその測定法および圧電MEMSデバイスの最新動向【提携セミナー】

圧電MEMSデバイス

圧電薄膜技術とその測定法および圧電MEMSデバイスの最新動向【提携セミナー】

このセミナーは終了しました。次回の開催は未定です。

開催日時 2021/7/14(水)13:00~17:00
担当講師

神野 伊策 氏

開催場所

【ZOOMを使ったLIVE配信セミナー】

定員 -
受講費 非会員: 49,500円 (本体価格:45,000円)
会員: 46,200円 (本体価格:42,000円)

圧電薄膜技術とその測定法および

圧電MEMSデバイスの最新動向

 

【提携セミナー】

主催:株式会社R&D支援センター

 


 

◆セミナー趣旨

圧電薄膜を用いたMEMS技術について,その特徴と実用化に向けた現在の開発状況,また圧電薄膜およびその評価技術に関する基礎について解説する.
圧電材料の有する優れた電気機械変換効果は,マイクロデバイス化することによりその特徴を更に引き出すことができる.現在はシンプルな構成のデバイスが実用においても主流となっているが,今後従来のMEMSで蓄積された微細構造と融合することによって新しい技術展開が期待される.
本講義では圧電薄膜材料に加え,応用デバイスの基礎となるユニモルフ構造について取り上げ,設計の基礎となる力学的特徴について説明する.

 

◆習得できる知識

・PZT圧電薄膜のスパッタ成膜技術
・圧電薄膜の結晶構造および電気特性評価
・薄膜材料の圧電定数評価法
・ユニモルフ素子構造の設計

 

◆キーワード

圧電,薄膜,MEMS,特性,評価,ユニモルフカンチレバー,力学,マイクロデバイス,セミナー

 

 

担当講師

神戸大学 工学研究科機械工学専攻 教授 博士(工学) 神野 伊策 氏

 

セミナープログラム(予定)

1.圧電MEMS技術の概要
1-1.MEMS技術とその応用
1-2.PZT圧電薄膜を用いた応用デバイス

 

2.圧電MEMSの要素技術
2-1.圧電材料とその特徴
2-2.薄膜化プロセス

 

3.薄膜材料の圧電特性評価

 

4.ユニモルフカンチレバーの力学

 

5.まとめ

 

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2021年07月14日(水) 13:00~17:00

 

開催場所

【WEB限定セミナー】※在宅、会社にいながらセミナーを受けられます

 

受講料

非会員: 49,500円 (本体価格:45,000円)
会員: 46,200円 (本体価格:42,000円)
学生: 49,500円 (本体価格:45,000円)

 

※会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円(税込)から
・1名で申込の場合、46,200円(税込)へ割引になります。
・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円(2人目無料)です。

 

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備考

資料付

 

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
ご自宅への送付を希望の方はコメント欄にご住所などをご記入ください。
無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

 

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

 

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