表面処理

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プリカーサーとは？ALD・ALEプロセスを支える供給ユニット設計のポイント

半導体の微細化と三次元構造化が進む中で、製造プロセスにおける成膜やエッチングの精度は製品性能に大きく影響する要素です。特にALDプロセス（原子層堆積：Atomic Layer Deposition）やALE …

表面処理

成膜技術”CVD”の基本がわかる！原理・仕組み・種類などを初心者向けに解説

薄膜形成技術は半導体や光学デバイスなど先端製品の性能向上や小型化に不可欠であり、その中でも「CVD」は様々な分野で活躍している技術です。 このコラムでその原理・仕組み・種類から装置まで徹底解説いたします。 …

表面処理

真空蒸着・スパッタリング・イオンプレーティングの違いがわかる！原理/装置/特徴を比較解説

今回は、半導体の製造現場などで広く使用されている成膜方法である「真空蒸着」「スパッタリング」「イオンプレーティング」について、各技術の原理・仕組み・装置構成などを説明します。 どれも似たような技術であるため …

生産技術・設備技術

分散液の乾燥：皮張りと沈降を考える《Roll To Rollフィルム乾燥のツボ⑥》

Roll To Rollフィルム製造の乾燥プロセスに関する連載の最終回は「分散系の乾燥」について解説します。 分散物を伴う乾燥では「皮張り(Skinning)」や「沈降」などの現象も考慮する必要があります。 …

生産技術・設備技術

溶媒の影響と比エンタルピー線の計算,飽和蒸気圧の見積方法《Roll To Rollフィルム乾燥のツボ⑤》

水系はルイス近似が成り立つので簡易に膜面温度の見積もりが可能ですが、他の有機溶剤では比エンタルピー線の計算が厄介です。さらに飽和蒸気圧線を知る必要もあります。 このコラムでは、ルイス近似が成立しない場合やア …

生産技術・設備技術

定率乾燥と減率乾燥《Roll To Rollフィルム乾燥のツボ④》

フィルム製造における乾燥プロセスの後半では、乾燥速度が遅くなります。 これは外気が溶媒を蒸発させる能力を携えていても、膜内の溶媒移動が追い付かないために生ずる現象です。   １．定率乾燥速度 これ …

生産技術・設備技術

乾燥速度の支配因子：膜面温度とガス濃度をやさしく解説《Roll To Rollフィルム乾燥のツボ③》

乾燥中のフィルム温度は乾燥風よりも低くなります。 膜面温度は雰囲気の湿度やガス濃度に依存し、乾燥速度に大きな影響を与えます。 今回のコラムでは、水系の空気線図を中心にそのイメージを説明します。   …

生産技術・設備技術

乾燥風の吹き出し方式と乾燥能力《Roll To Rollフィルム乾燥のツボ②》

Roll To Roll製造の乾燥装置では、様々な乾燥風の吹き出しノズルが使われます。 何故、色んな種類があるのでしょうか？ 今回は、乾燥方式と乾燥能力・乾燥効率について解説します。   １．フィ …

生産技術・設備技術

乾燥の3要素と数式化《Roll To Rollフィルム乾燥のツボ①》

フィルムの開発や製造に携わっている皆様、塗工や乾燥の基礎知識不足に悩まされていませんか？ 筆者自身、就職してから塗工開発とフィルム製造に従事しましたが、課題解決のために情報を漁るにも、論文は学術的すぎ、現場 …

表面処理

塗装の種類と特徴、塗膜形成プロセスがわかる｜電着塗装・静電塗装など製造ラインで使われる主な方法も解説

今回は、表面処理技術のうち「塗装」の種類と原理（仕組み）、主な塗装方法とその特徴について解説します。 １．塗料の成分と塗膜形成までのステップ 塗料に使われる成分は、塗料を塗った部分に塗膜として残る「塗膜成分 …

表面処理

メッキの種類と原理｜電気メッキ/置換メッキ/還元メッキの酸化・還元反応などを解説

様々な表面処理技術の中でも、メッキは古くから広く使用されている方法です。 今回は、メッキの大まかな分類をご紹介するとともに、「湿式メッキ」の種類である「電気メッキ」「置換メッキ」「還元メッキ」の原理（仕組み …

表面処理

メッキと塗装の違いとは？メリット・デメリットなどを比較解説

表面処理の中で、「メッキ」（めっき・鍍金）と「塗装」は広く使用されている処理方法ですが、両者にはどのような違いがあるのでしょか？今回は、メッキと塗装の違いと、それぞれの特徴（メリット・デメリット）について説 …

３分でわかる技術のキホン

３分でわかる 真空蒸着の基礎知識(原理/装置構成/プロセスの概要など)

当連載の「３分でわかる技術の超キホン 成膜技術”PVD”とは？ CVDとの違いは？」の回で、物理気相成長法（PVD）についてご説明しました。真空蒸着はPVD法の一つです。 今回は、その真空蒸着（真空蒸着法） …

３分でわかる技術のキホン

３分でわかる 成膜技術PVDとは？CVDとの違いは？

当連載の「ALD(原子層堆積法)とは？」との回で、「CVD」（化学気相成長、化学気相堆積）についてご説明しました。 真空等を利用した成膜技術（蒸着技術）として、「CVD」の他に「PVD」と呼ばれる方法があり …

３分でわかる技術のキホン

３分でわかる ALD(原子層堆積法)とは？原理,特徴,CVDとの比較など要点解説

１．ALDとは？ ALD（原子層堆積, Atomic Layer Deposition）は、気相の自己制御式な表面化学反応を利用した真空薄膜形成技術であり、CVD（化学気相堆積, chemical vapo …

表面処理

窒化処理の基本がわかる！原理・種類・メリット/デメリットなどを解説

今回は、鉄鋼材の表面を硬化する表面熱処理のひとつである「窒化処理」について説明します。 １．窒化処理とは 「窒化処理」とは、鉄鋼材（又は鉄鋼製品）の表面を加熱し、鋼の表面に窒素（N）原子を拡散浸透させて表面 …

生産技術・設備技術

真空装置内の異物対策を解説｜微細ダスト(パーティクル)の発生原因と運用の注意点

微細なダストが半導体等のデバイスの特性に影響を与える場合は、特にこれらを「パーティクル」（微粒子）と呼び、欠陥の一因とされます。 本記事では、真空装置内の微細ダスト発生の原因とその対策について取り上げます。 …

生産技術・設備技術

真空装置の熱源と熱対策を総整理！装置内部の部材・部品を熱ダメージから守るには？

真空装置に関する前回の記事では、真空装置内の部材に生じる「腐食」の原因と対策について紹介しました。その「腐食」とともに問題になるのが、熱によるダメージの対策になります。 今回は、真空装置内の部材・部品（機械 …

生産技術・設備技術

【フィルム製造のツボ】トラブル対応での各部門の役割分担｜ロット生産でのトラブル対策

フィルム製造において発生する様々なトラブルを円滑に解決するためには、個人の経験や能力に頼るのではなくチームワークが重要です。 今回は、フィルム製造に関わる人々が各々の立場で、どのように振舞うと有効かを解説し …

３分でわかる技術のキホン

３分でわかる フッ素化学入門｜C-F結合の特性、フッ素樹脂の用途など

「フッ素」（fluorine）は原子番号9の非金属化学元素であり、元素記号はF、第2周期ⅦA族のハロゲンのひとつです。原子半径が小さく、原子外殻電子構造は2P5で、強い酸化性を有しています。フッ素分子（F2 …

生産技術・設備技術

【フィルム製造のツボ】ロールtoロール製造での不具合事例とトラブルシューティングのポイント

Roll To Rollの製造や開発に携わると「原因不明の問題解決しなければならない局面」に遭遇します。 本記事では、フィルム製造における「突発トラブルへの向き合い方」について紹介します。 １．ロールtoロ …