計算化学を用いたエッチングガスの

一次解離過程と新規ガスの開発

混合ガスの選択、レシピ構成、新規ガスの開発、

エッチングプロセス制御に向けて、計算化学で得られた知見を提供！

【提携セミナー】

主催：サイエンス＆テクノロジー株式会社

受講可能な形式：【Live配信】のみ

エッチング技術の進化には新規プロセスガスの開発が、
エッチングプロセスの制御にはプロセスガスの電子物性への理解が欠かせません。
本セミナーでは、そんな、エッチングの進展や制御に重要となるプロセスガスに焦点を当て、
近年発展している計算化学を用いて得られた様々な知見を提供します。

セミナー趣旨

プロセスガスの物性(イオン化、励起及び電子付着解離)について計算化学を用いて解析し、生成物及びその化学反応性を理解する。そこから得られた知見を基にプロセスに有用な反応種を特定するとともに導入するプロセスガス及び混合ガスの選択(レシピ構成)及び新規ガスの開発を検討する。これらの趣旨に基づき、
1. プラズマ生成の基礎
2. 計算化学の概要
3. 計算化学で明らかになったプロセス
4. 計算化学で明らかになった一次解離過程と生成物
5. 計算化学から得られた知見により開発されたエッチング技術
6. 計算化学から見た新規エッチングガスの提案
7. 計算化学から見た今後の研究課題
について述べる。

得られる知識

プロセスガスの解離過程(イオン化、励起、電子付着解離)
計算化学による未踏領域への知識

担当講師

名古屋大学　低温プラズマ研究センター　客員教授　理学博士　林　俊雄 氏

【専門】エッチング技術　プロセスプラズマ・ガスの解離過程探索
［略歴］
日本真空技術(株)（現(株)アルバック）で、光励起質量分析計の開発でCF3ラジカルの測定に成功(世界初)、
小型ヘリューム漏洩検知器の開発、MOCVD装置の開発、NLDエッチング装置開発に従事、
このうち1年間は西沢潤一半導体研究所でGaAlAsのALD開発にサポート員として参画。
その後、名古屋大「プラズマプロセス研究センター」特任教授として赴任、現在は客員教授として勤務。
［受賞歴］
2014年NO+F2 → F+FNO ガスエッチング特許技術でJST6大成果賞受賞。
2022年 Dry Process Symposium 功労賞受賞。

セミナープログラム（予定）

１．プラズマ生成の基礎
・今後の課題…負イオンおよびラジカルの計測とプラズマシミレーション
・負イオンは無視してよいか?

２．計算化学の概要
・計算方法の種類：密度汎関数法とab initio法
・各種計算方法の優位性

３．計算化学で明らかになったプロセス
・Siエッチングにおける酸素及び窒素添加効果
・ゲート付近に残留したSiO2のダメージレス化学エッチング
・イオン及びラジカルの生成機構と選択比
・気相中の電荷交換、表面からの脱離反応、負イオン放出

４．計算化学で明らかになった一次解離過程と生成物
・メタン系フッ化物
・エタン系フッ化物
・C3F6, C3F8,C4F6, c-C4F8,c-C5F8

５．計算化学から得られた知見により開発されたエッチング技術
・窒化膜の高選択比エッチング
・NO + F2 →　FNO + F 等の化学反応

６．計算化学から見た新規エッチングガスの提案
・CxHyFz化合物
・その他の化合物(CF3NO,CF3NH2,SiH4 他)

７．計算化学から見た今後の研究課題
・負イオン形成機構と計測技術およびその役割
・計算化学から得られたデータを基にした断面積の見積もり

※セミナーの進行具合によって講演項目は一部省略することがあります。

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2025/3/26（水）10:30～16:30

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

受講料

55,000円 ( E-Mail案内登録価格 52,250円 )
定価：本体50,000円＋税5,000円
E-Mail案内登録価格：本体47,500円＋税4,750円

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2名で55,000円 (2名ともE-Mail案内登録必須​／１名あたり定価半額の27,500円)

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1名申込みの場合：受講料 44,000円(E-Mail案内登録価格 42,020円 )

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配布資料

製本テキスト(開催日の4、5日前に発送予定)
※開催まで4営業日～前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、
開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
Zoom上ではスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
PDFテキスト(印刷不可・編集不可)
※開催2日前を目安に、主催者サイトのマイページよりダウンロード可となります。

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備考

※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

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