MEMS技術入門講座：基礎から応用技術・最新動向まで【提携セミナー】

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開催日時	未定
担当講師	戸津健太郎氏
開催場所	未定
定員	-
受講費	未定

MEMS技術入門講座：基礎から

応用技術・最新動向まで

【提携セミナー】

主催：株式会社R&D支援センター

◆セミナー趣旨

半導体集積回路は多数のトランジスタで高度な情報処理を行うことができますが、センサやアクチュエータなどの異なる要素を融合することでさらに高度な機能を持たせることができます。このMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)は、システムの鍵を握る要素として使われ付加価値は高いのですが、多様で品種ごとに異なるため開発には多様な知識や試作設備へのアクセスなどのオープンコラボレーションが不可欠になります。本講義では、MEMSがどのように使われているか、またその製作のためのプロセス、要素技術やコラボレーションのありかたなどについて解説します。

◆習得できる知識

設計や製作の基礎から応用まで

◆受講対象

半導体微細加工、微小電気機械システム(MEMS)、センサなどに興味をお持ちの方

◆必要な予備知識

予備知識は特に必要ありません。基礎から解説いたします。

◆キーワード

MEMS,センサ,自動車,半導体,微細加工,講演,セミナー,研修,講座

担当講師

東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター　センター長・教授　博士（工学）
戸津　健太郎　氏

【専門】
MEMS、半導体微細加工

【略歴】
2010年からは東北大学試作コインランドリの長として半導体微細加工共用施設の運営を行っている。2020年から産学官連携組織であるMEMSパークコンソーシアム代表を務め、MEMSの産業化支援にも取り組んでいる。2022年より文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）高度デバイス領域代表・東北大ハブ長、東北大学ナノテク融合技術支援センター長として、設備とデータの共用事業に取り組んでいる。2024年より技術研究組合最先端半導体技術センター（LSTC）を兼業し、人材育成検討委員会のうち大学・地域・産業連携WGの座長を務め、全国規模での半導体人財育成を推進している。また、2024年からは東北大学半導体クリエイティビティハブ（S-Hub）のハブ長として、学内外の学生、社会人向けの半導体教育プログラムも統括している。

セミナープログラム（予定）

１．MEMSの使われ方
1-1. 概論
1-2. 自動車・スマートホンなどで使われる(量産)MEMS
1-3. IT機器、バイオ・医療・健康などで使われる(量産・高付加価値)MEMS
1-4. インフラ・安全・環境、製造・検査などで使われる(高付加価値)MEMS

２. 基本プロセス
2-1. 基本プロセス1 (パターニング、エッチング)
2-2. 基本プロセス2 (堆積と応力制御、接合)

３. 組合せプロセス
3-1. 組合せプロセス1 (バルクマイクロマシニング、表面マイクロマシニング、ナノマシニング)
3-2.　組合せプロセス2 (ウェハ転写とヘテロ集積化、電気的接続、パッケージングと真空封止)

４. MEMS関連技術、MEMSの要素、MEMSの拡がりとコラボレーション
4-1.　ダイシング、各種プロセス、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗物語
4-2.　MEMSの要素 (センサ、アクチュエータ、エネルギ源)
4-3.　MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携他