薄膜・微細加工・表面処理装置の新規導入~ライン立上げのトラブル防止のポイント

絶対におさえておくべき装置導入・ライン立ち上げのポイントを集中講義!

薄膜・微細加工・表面処理プロセス装置の

新規導入~ライン立ち上げのトラブル防止のポイント


講座概要

 

電子部品や半導体、フラットパネルディスプレイなどの製品を製造するには、薄膜を形成し微細加工を行う「薄膜系プロセス」が用いられます。また近年では、金型や金属部品の表面処理、医療機器への機能付与など、薄膜加工の活用のフィールドは広がっています。薄膜系プロセス装置には、真空成膜、ウェットコーティング、描画、露光、現像、エッチング、洗浄、熱処理など、様々な装置があります。近年、装置は高性能化し、微細化、大型化、高タクト化が図られています。

新しい装置導入による生産ライン立ち上げは、大掛かりなプロジェクトになります。うまくラインを立ち上げると、高い生産性と品質により、高付加価値のモノづくりに大きく貢献することになります。しかし、薄膜系のプロセス立上げは容易ではありません。プロセス装置はユーザーの個別の用途や要求によって作りこまれるケースが多く、長年の実績のある装置メーカーにとっても、新しい取り組みとなる場合が多いです。そのため新規導入時においては、設計仕様上の課題が浮き彫りとなったり、製作の遅れが生じたり、狙い通りの生産性確保が困難になるといったトラブルも発生しやすくなります。また、せっかく導入した装置が、対象製品の仕様変更のためにそのままでは使えなくなり、改造が必要となるといったケースもあります。

本講座では、様々な用途で用いられる薄膜系プロセスを対象に、装置導入、ライン立ち上げ時の失敗の芽を徹底的につぶし、トラブルを未然防止するポイントを解説します。将来的な展開も考慮した装置設計・ライン設計を組み込む事で、業界や技術の時流の変化に柔軟に対応できる「つぶしのきく、ロバストな装置」を導入するためのポイントも解説します。装置を設計するのが装置メーカーであっても、製品にあった生産ラインを設計できるか否かは、装置ユーザーの技術力にかかっています。本講座が、装置導入のリスク低減、生産ラインの立ち上げ成功に役立てば幸いです。

担当講師

大薗 剣吾 講師

 

セミナープログラム

1.プロセス装置の基本

(1)成膜・加工・表面処理のライン立上げで起こりがちなトラブル

(2)プロセス装置を導入する技術者に必要な知識とは

(3)適切なライン立ち上げによりもたらされる金額効果

2.ライン立ち上げの計画

(1)量産ライン立上げの基本の流れ

(2)ライン構想段階で、費用対効果を最大化する

(3)起こりうるトラブル・問題を洗い出す

(4)ライン立ち上げ計画書にまとめる

3.ライン垂直立ち上げを成功に導く装置発注

(1)仕様検討で理想的なプロセスに徹底的にこだわる

(2)「理想」を実現するために装置をカスタマイズする

(3)見積取得から「万全の比較表」をつくる

(4)漏れなく仕様書類に盛り込む

4.施工~検収、ライン立ち上げまでの管理

(1)品質を確保し、製作納期を守るために製作を管理する

(2)施工にあたり、現場の安全と作業精度を確保する

(3)抜けのないコールド・ホットランによりデータを取得する

(4)装置検収完了まで妥協しない

5.事例からみるライン立ち上げトラブルシューティング

 

(1)ガラス基板上成膜・リソグラフィ装置の事例

(2)フィルム上ウェットコーティング装置の事例

(3)製品自動搬送・ハンドリング装置の事例

(4)検査・分析装置の事例

6.質疑応答

 

主な受講対象者

  • プロセス装置の導入を担当する技術者、リーダー
  • プロセス装置の設計・製作を行う装置メーカーの技術者、リーダー

 

期待される効果

  • プロセス装置の導入で失敗をしないためのノウハウを習得できます。
  • プロセス装置導入のスペシャリストになるための基礎を学ぶことができます。

 

公開セミナーの次回開催予定

・開催日時: 未定 (※セミナー開催のご要望についてはこちらのページをご参照ください)

・開催場所:日本アイアール㈱本社会議室(四谷三丁目駅徒歩6分他) (※日本アイアールへのアクセスはこちら)

・定員  :18名

・受講料 :27,000円(税別) [税込:29,160円]

 

※大薗講師による出張セミナーをご検討の方は、お問い合わせください。

 

お申し込み方法

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