圧電材料を用いたMEMSデバイス開発への基礎知識とポイント【提携セミナー】

圧電MEMSデバイス

圧電材料を用いたMEMSデバイス開発への基礎知識とポイント【提携セミナー】

このセミナーは終了しました。次回の開催は未定です。

開催日時 2022/1/24(月)13:00~16:30
担当講師

藤井 隆満 氏

開催場所

Live配信セミナー(会社・自宅にいながら受講可能)

定員 -
受講費 通常申込:44,000円
E-Mail案内登録価格: 41,800円

圧電材料を用いたMEMSデバイス

開発への基礎知識とポイント

 

 

 

【提携セミナー】

主催:サイエンス&テクノロジー株式会社

 


 

近年、MEMSデバイスの進化は進み、様々な電子製品において必要不可欠なものとなっております。

その中でも圧電材料は製品の小型化・高機能化への貢献が得られ、更なる性能向上が求められております。

圧電材料を用いたMEMS材料の開発・デバイスへの応用のポイントを解説いたします!

 

セミナー趣旨

富士フイルムにて圧電材料そのものの開発、製造装置の設計さらにはMEMS事業をゼロから立ち上げてきた筆者が、経験を元に学術的な視点だけではなく実際に使える現場視点/産業界の視点から、MEMS材料の開発とデバイスへの応用を、R&Dの進め方、事業化のための考え方を伝授いたします。MEMS研究者だけではなく、研究をいかに進めるべきかの参考になります。

 

受講対象

IoT関連でセンサやアクチュエータの用途が高まっており、自社で新規なセンサやアクチュエータを開発したいと思っている人に役立つ。
最後に各社の開発の方向性について調査方法を含めて開示します。

 

担当講師

藤井技術士事務所 / 株式会社TAK薄膜デバイス研究所 代表

藤井 隆満 氏

 

【専門】圧電MEMS、電子材料、薄膜形成、プラズマプロセス

 

セミナープログラム(予定)

0.自己紹介

 

1.はじめに
1.1 MEMSとは?
1.2 静電MEMS
1.3 圧電MEMS
1.4 静電MEMS VS 圧電MEMS
1.5 MEMSのコストイメージ

 

2.圧電材料と成膜方法
2.1 ゾルゲル法、MOCVD法、スパッタ法、アロゾルデポジション法
2.2 圧電材料の種類と特徴
2.3 各社の圧電膜について
Pb系材料、KNN系材料、AlN系材料など
2.4 圧電膜の特性と適した応用先

 

3.スパッタ法による高性能圧電体Nb-PZT材料の開発
3.1 材料開発のコンセプト
3.2 スパッタ法における材料開発のテクニック
3.3 Nb-PZT膜の特徴
3.4 分極レスの特徴によるメリット

 

4. 圧電膜のMEMS応用
4.1 圧電MEMSのプロセスフロー
4.2 インクジェットヘッドへの応用
4.3 マイクロミラーへの応用
4.4 その他の応用
4.5 国内外各社のMEMSデバイスに関する開発のトピックス
国内MEMS関連企業、海外MEMS関連企業
4.6 情報調査の方法について

 

5. まとめ

 

□ 質疑応答 □

 

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2022/1/24(月) 13:00~16:30

 

 

開催場所

Live配信セミナー(会社・自宅にいながら受講可能)

 

受講料

一般受講:本体40,000円+税4,000円
E-Mail案内登録価格:本体38,000円+税3,800円

 

 

E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で44,000円 (2名ともE-Mail案内登録必須/1名あたり定価半額の22,000円)

 

 

【テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合:受講料( 定価:35,200円/E-Mail案内登録価格 33,440円 )

定価:本体32,000円+税3,200円
E-Mail案内登録価格:本体30,400円+税3,040円

※1名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※※お申込みフォームのメッセージ欄に【テレワーク応援キャンペーン希望】とご記載ください。
※他の割引は併用できません。

 

 

【S&T会員登録】と【E-Mail案内登録】の詳細についてはこちらをご参照ください。

※E-Mail案内登録をご希望の方は、申込みフォームのメッセージ本文欄に「E-Mail案内登録希望」と記載してください。ご登録いただくと、今回のお申込みからE-mail案内登録価格が適用されます。

 

配布資料

製本テキスト(開催前日着までを目安に発送)
※セミナー資料はお申し込み時のご住所へ発送させていただきます。
※開催日の4~5日前に発送します。開催前日の営業日の夕方までに届かない場合はお知らせください。
※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。

 

オンライン配信のご案内

※【Live配信(zoom使用)対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

 

 

備考

※資料付
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

 

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

 

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