タグ: 真空ポンプ

【展示会情報】VACUUM 真空展

  《主催者サイトより》 真空機器・真空装置の総合展示会です。 オンライン　2024年9月11日（水）～27日（金）（27日は17:00まで） リアル　　　2024年9月18日（水）～20日（金） …

３分でわかる技術のキホン

３分でわかる 真空蒸着の基礎知識(原理/装置構成/プロセスの概要など)

当連載の「３分でわかる技術の超キホン 成膜技術”PVD”とは？ CVDとの違いは？」の回で、物理気相成長法（PVD）についてご説明しました。真空蒸着はPVD法の一つです。 今回は、その真空蒸着（真空蒸着法） …

生産技術・設備技術

真空装置内の異物対策を解説｜微細ダスト(パーティクル)の発生原因と運用の注意点

微細なダストが半導体等のデバイスの特性に影響を与える場合は、特にこれらを「パーティクル」（微粒子）と呼び、欠陥の一因とされます。 本記事では、真空装置内の微細ダスト発生の原因とその対策について取り上げます。 …

早わかりポンプ

【早わかりポンプ】真空ポンプの基礎知識と分類・種類

当連載では、これまでにポンプをテーマとして18回にわたって色々と解説してきました。 その18回の内容はすべて「ターボ形ポンプ」に関する知識が中心です。 連載第1回「ポンプの基本原理と分類」では、ポンプの分類 …

早わかりポンプ

【早わかりポンプ】ポンプの始動準備における重要ポイント

ポンプを健全に運転するためには、始動前の準備作業が必要です。 今回は、「水張り」「軸受・軸封系統確認」「暖機」（高温ポンプ）の3つについて紹介します。 １．水張り（空気抜き） ポンプは、内部がすべて水など液 …

３分でわかる技術のキホン

３分でわかる技術の超キホン 「薄膜」とは？

    薄膜とは？ 薄膜は「はくまく」と呼びます。文字通り、薄い膜のことです。 膜そのものとして独立したもの（フィルターなどで使う膜や、薄～く延ばされた金箔など）のことをいう場合もありま …