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【半導体製造プロセス入門】PVD装置(スパッタリング装置)の要点解説 [成膜装置の基本③]

今回は、成膜装置のうち、気相成長装置としてPVD（物理的気相成長）装置について解説します。 （※PVDの基礎知識は「３分でわかる 成膜技術”PVD”とは？CVDとの違いは？」をご参照ください）   …

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【半導体製造プロセス入門】CVD装置の種類・分類と特徴 [成膜装置の基本②]

前回の当連載では、成膜装置の分類をご紹介しました。 その成膜装置の分類のうち「気相成長装置」に該当するものとして、エピタキシャル成長装置、CVD（化学的気相成長）装置、PVD（物理的気相成長）装置、蒸着装置 …

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【半導体製造プロセス入門】成膜装置の種類・分類と熱酸化装置 [成膜装置の基本①]

LSIは「膜」によって構成されています。 この膜を形成する「成膜装置」について4回にわたってご説明します。 今回は、成膜装置の分類（主な種類）の説明と、固相成長装置である「熱酸化装置」を取り上げます. また …

３分でわかる技術のキホン

３分でわかる技術の超キホン 材料による太陽電池の分類と特徴（シリコン系/無機化合物系/有機系）

化石資源を大量に消費することで発展し続けてきた現代社会ですが、資源の枯渇、CO2濃度の増加による地球温暖化などの問題から、再生可能エネルギー技術の開発が進められています。 その中でも注目されているのが太陽光 …

３分でわかる技術のキホン

３分でわかる技術の超キホン Ｐ型有機トランジスタ（OFET）材料開発

現在の情報化社会で欠かせないパソコンやディスプレーの基本的な機能を実現しているのは、シリコンなどの固い無機物の半導体です。一方、柔らかくて簡単に作ることができる有機物の半導体デバイスを中心とした「有機エレク …

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スパッタリング薄膜の品質について

  スパッタリング薄膜とは？ スパッタリングは、いわゆる薄膜技術の一つで、しかも代表的な技術といえます。 半導体のウェハプロセスで使われる膜の多くがスパッタリング膜です。 また液晶ディスプレイやL …

３分でわかる技術のキホン

３分でわかる技術の超キホン 「薄膜」とは？

    薄膜とは？ 薄膜は「はくまく」と呼びます。文字通り、薄い膜のことです。 膜そのものとして独立したもの（フィルターなどで使う膜や、薄～く延ばされた金箔など）のことをいう場合もありま …