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生産技術・設備技術

真空装置内の異物対策を解説｜微細ダスト(パーティクル)の発生原因と運用の注意点

微細なダストが半導体等のデバイスの特性に影響を与える場合は、特にこれらを「パーティクル」（微粒子）と呼び、欠陥の一因とされます。 本記事では、真空装置内の微細ダスト発生の原因とその対策について取り上げます。 …

生産技術・設備技術

【フィルム異物対策のツボ】フィルム製造での静電気対策と除塵方法を専門家が解説

異物対策は静電気対策と併せて行います。 なぜかというと異物もフィルムも帯電しやすいので、静電気が異物の付着を促すからです。 異物対策を施していても、原反フィルムのエッジからの発塵や作業者の皮膚など、どうして …

生産技術・設備技術

【フィルム異物対策のツボ】Roll To Rollのクリーンルームと異物の検出方法と分析

Roll To Roll（ロールtoロール）で製造されるフィルムの中でも、厳しい品質を問われる製品では微小な異物でも問題になるので、近年は高度なクリーンルームでフィルム製造されています。 クリーン度を充分に …

半導体製造プロセス入門

【半導体製造プロセス入門】リソグラフィー装置の基本① (露光装置/光源)

「半導体製造装置」と聞いてまず思い浮かぶのがリソグラフィー装置です。 リソグラフィーはもともと「フォトリソグラフィー」と呼ばれる写真製版の技術です。つまり印刷技術が発展して現在のような非常に高度な技術となり …

半導体製造プロセス入門

【半導体製造プロセス入門】半導体工場の設備を学ぶ

今回のコラムでは、半導体工場の設備について解説します。 １．半導体工場のレイアウトとウエハー搬送 まず工場のレイアウトです。 近年の大規模な半導体工場では、半導体製造装置が並んで設置され、その間を自動搬送車 …

半導体製造プロセス入門

【半導体製造プロセス入門】シリコンウエハーと半導体製造の必要資材

半導体製造においては、とかく製造装置自体に目が向きがちですが、資材や工場自体の設備なども重要です。 なぜかというと、半導体の製造には、水や化学薬品、あるいは熱などが必要であり、これらの資材を安定的に供給する …