タグ: クリーンルーム

生産技術・設備技術

【フィルム異物対策のツボ】フィルム製造での静電気対策と除塵方法を専門家が解説

異物対策は静電気対策と併せて行います。 なぜかというと異物もフィルムも帯電しやすいので、静電気が異物の付着を促すからです。 異物対策を施していても、原反フィルムのエッジからの発塵や作業者の皮膚など、どうして …

生産技術・設備技術

【フィルム異物対策のツボ】Roll To Rollのクリーンルームと異物の検出方法と分析

Roll To Roll（ロールtoロール）で製造されるフィルムの中でも、厳しい品質を問われる製品では微小な異物でも問題になるので、近年は高度なクリーンルームでフィルム製造されています。 クリーン度を充分に …

半導体製造プロセス入門

【半導体製造プロセス入門】リソグラフィー装置の基本① (露光装置/光源)

「半導体製造装置」と聞いてまず思い浮かぶのがリソグラフィー装置です。 リソグラフィーはもともと「フォトリソグラフィー」と呼ばれる写真製版の技術です。つまり印刷技術が発展して現在のような非常に高度な技術となり …

半導体製造プロセス入門

【半導体製造プロセス入門】半導体工場の設備を学ぶ

今回のコラムでは、半導体工場の設備について解説します。 １．半導体工場のレイアウトとウエハー搬送 まず工場のレイアウトです。 近年の大規模な半導体工場では、半導体製造装置が並んで設置され、その間を自動搬送車 …

半導体製造プロセス入門

【半導体製造プロセス入門】シリコンウエハーと半導体製造の必要資材

半導体製造においては、とかく製造装置自体に目が向きがちですが、資材や工場自体の設備なども重要です。 なぜかというと、半導体の製造には、水や化学薬品、あるいは熱などが必要であり、これらの資材を安定的に供給する …