☆条件出し・装置対応・トラブル解決！実務直結のノウハウを一日で習得！

若手からベテランまで実務に役立つ講座です

スパッタ・蒸着・CVDによる

薄膜形成技術の基礎とトラブル対策

【提携セミナー】

主催：株式会社R&D支援センター

◆セミナー趣旨

スパッタ法や真空蒸着法、化学気相成長（CVD）法は、先端材料研究をはじめ、電子デバイス，太陽電池，建材、さらには食品産業まで、さまざまな分野で使用されており、今や我々の生活と切っても切り離せない技術になっています。エレクトロニクスや真空技術の進歩により、現在では高性能な成膜装置が市販されていますが、これらを使いこなすには適切な知識が必要です。たとえば、新たな条件で成膜を行おうとすると、所望の薄膜を得るために条件出しを行わなければなりません。また、成膜プロセスでトラブルが発生すると、その対処に頭を悩ませることになります。そのようなときに必要になるのが、成膜技術に関する基本的かつ系統的な知識です。

本講座では、真空蒸着法やスパッタ法、CVD法などを用いた成膜技術に携わる方々を対象に、これらの技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し、実際の業務に生かして頂くことを目標とします。

◆習得できる知識

• 成膜プロセス設計に必要な基礎知識
• 成膜プロセスで発生したトラブル対応に必要な基礎知識

◆受講対象

• 薄膜作製に関連する研究・開発・製造業務にたずさわって2～3年の若手技術者や新人の方
• 薄膜作製に関してある程度の経験はあるが、自分の知識を系統的に整理したい方

◆必要な前提知識

高等学校程度の物理、化学および数学の知識。できるだけ初学者の方でも理解できるよう、数式等の使用は最小限にして解説します

◆キーワード

薄膜,成膜,蒸着,スパッタ,CVD,評価,セミナー

担当講師

三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 教授 博士（工学）　佐藤 英樹 氏

【ご専門】
薄膜・表面物性工学、ナノ材料工学
【ご略歴】
1996〜2000　アネルバ（株）（現 キヤノンアネルバ）　半導体装置事業部　技術担当
上記期間中、量産用スパッタリング装置、プラズマCVD装置およびMOCVD装置の開発業務に従事
2000〜2007　三重大学　大学院工学研究科　電気電子工学専攻　助手
2007〜2023　同 准教授
2023〜現在　同 教授
2002〜2003　米国ノースカロライナ大学チャペルヒル校　客員研究員
上記期間中、各種成膜法を使用したナノカーボン材料の合成およびその応用に関する研究に従事
【ご所属学会】
応用物理学会、日本表面真空学会、フラーレン・ナノチューブ・グラフェン学会、炭素材料学会　会員

セミナープログラム（予定）

１．成膜技術に必要な真空・表面物性工学
1-1.　気体分子運動論の基礎
1-2.　真空工学の基礎
1-3.　表面物性工学の基礎

２．真空蒸着法
2-1.　真空蒸着法の原理
2-2.　真空蒸着法の種類と装置例
2-3.　真空蒸着法で作製される薄膜の例
2-4.　真空蒸着法を適用する際の留意事項

３．スパッタ法
3-1.　スパッタ法の原理
3-2.　スパッタ法の種類と装置例
3-3.　スパッタ法で作製される薄膜の例
3-4.　スパッタ法を適用する際の留意事項

４．化学気相成長（CVD）法
4-1.　CVD法の原理
4-2.　CVD法の種類と装置例
4-3.　CVD法で作製される薄膜の例
4-4.　CVD法を適用する際の留意事項

５．薄膜評価法
5-1　表面モルフォロジ、ステップカバレッジ
5-2　膜組成、膜構造
5-3　付着力、膜応力
5-4　電気的特性、光学的特性

６．成膜プロセスで遭遇するトラブル例と対処法
6-1　膜質に関するトラブル
6-2　装置に関するトラブル

公開セミナーの次回開催予定

開催日

【LIVE配信】2025/12/4（木） 10:00～17:00

【アーカイブ配信】12/5～12/12（何度でも受講可能）

開催場所

【WEB限定セミナー】※在宅、会社にいながらセミナーを受けられます

受講料

非会員： 57,200円 （本体価格：52,000円）
会員： 49,500円 （本体価格：45,000円）

会員の方あるいは申込時に会員登録される方は、受講料が1名57,200円（税込）から

• 1名49,500円（税込）に割引になります。
• 2名申込の場合は計57,200円（2人目無料）になります。両名の会員登録が必要です。

■ LIVE配信とアーカイブ配信の両方 をご希望の場合
　会員価格で1名につき60,500円（税込）、2名同時申込で68,200円（税込）になります。
　メッセージ欄に「LIVEとアーカイブ両方希望」とご記入ください。

※セミナー主催者の会員登録をご希望の方は、申込みフォームのメッセージ本文欄に「R&D支援センター会員登録希望」と記載してください。ご登録いただくと、今回のお申込みから会員受講料が適用されます。

※R&D支援センターの会員登録とは？
ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。

LIVE配信のご案内

こちらをご参照ください

備考

• セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。
  　ご自宅への送付を希望の方はメッセージ欄にご住所などを明記してください。
  無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

★【LIVE配信】、【アーカイブ配信】、【LIVEとアーカイブ両方視聴】のいずれかから、ご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。