★リソグラフィ、レジストの基礎からEUVレジストの特性、

課題と対策、最新のロードマップを踏まえた展望まで詳説！

リソグラフィ、レジスト/EUVレジストの

基礎とトラブル対策

【提携セミナー】

主催：株式会社R&D支援センター

◆セミナー趣旨

メモリー、グラフィックスプロセッシングユニット (GPU)等のデバイスの高集積化の要求は、AIの進化等に伴い益々大きくなっている。微細加工を支えるリソグラフィ技術は現在先端の量産工程でダブル/マルチパターニング、EUVが用いられている。レジスト材料はこのようなリソグラフィ技術の変革に対応して進展し続けている。

本講演では、リソグラフィの基礎を解説した後、デバイスの微細化を支えるレジストの基礎をPFASフリーレジスト、EUVレジスト（化学増幅型EUVレジスト、EUVネガレジストプロセス、EUVメタルレジスト、EUVメタルドライレジストプロセス）の詳細を含めて述べる。レジスト、先端リソグラフィのトラブル対策をその要求特性、課題をふまえて解説する。EUVレジストの課題と対策についても述べる。最新のロードマップを解説し、今後のレジストの技術展望、市場動向についてまとめる。

◆習得できる知識

• レジスト/EUVレジストの基礎
• リソグラフィの基礎
• レジスト/EUVレジスト、先端リソグラフィのトラブル対策
• リソグラフィ、レジスト/EUVレジストの最新技術・ビジネス動向

◆キーワード

レジスト、EUV、微細、加工、パターン、形成、液浸、リソグラフィ、トラブル、欠陥、対策

担当講師

Eリソリサーチ　代表　工学博士　遠藤 政孝　氏

＜専門＞
リソグラフィ、レジスト、先端パッケージ

＜略歴＞
1983年松下電器産業株式会社入社。以来同社半導体研究センター、パナソニック株式会社セミコンダクター社プロセス開発センターにて、リソグラフィ、レジストの開発に従事。
2009年から大阪大学産業科学研究所にて、レジスト、EUVレジストの研究開発に従事。2024年からEリソリサーチを設立。レジスト、リソグラフィ、先端パッケージのコンサルティング、技術調査、講演活動を実施。先端パッケージの3DHIコンソーシアムのアドバイザーを担当。

セミナープログラム（予定）

1．リソグラフィの基礎
1-1．露光
1-2．照明方法
（1）輪帯照明
1-3．マスク
（1）位相シフトマスク
（2）光近接効果補正（OPC）

2．レジストの基礎
2-1．溶解阻害型レジスト
（1）g線レジスト
（2）i線レジスト
2-2．化学増幅型レジスト
（1）KrFレジスト
（2）ArFレジスト
2-3．ArF液浸レジスト/トップコート
2-4. PFASフリーレジスト
2-5．EUVレジスト
（1）化学増幅型EUVレジスト
（2）EUVネガレジストプロセス
（3）EUVメタルレジスト
（4）EUVメタルドライレジストプロセス

3．レジスト、先端リソグラフィのトラブル対策
3-1．レジストパターン形成不良への対応
（1）パターン倒れ
・表面張力低減プロセス
・ハードマスクプロセス
（2）パターン密着性不良
（3）パターン形状不良
・上層反射防止プロセス
・下層反射防止プロセス
（4）パターン均一性不良
・ウエハー平坦化プロセス
3-2．化学増幅型レジストのトラブル対策
（1）レジスト材料の安定性
（2）パターン形成時の基板からの影響
（3）パターン形成時の大気からの影響
3-3．ダブルパターニング、マルチパターニングの課題と対策
（1）リソーエッチ（LE）プロセス
（2）セルフアラインド（SA）プロセス
3-4．EUVレジストの課題と対策
（1）感度/解像度/ラフネスのトレードオフ
（2）ランダム欠陥（Stochastic Effects）
3-5．自己組織化（DSA）リソグラフィの課題と対策
（1）グラフォエピタキシー
（2）ケミカルエピタキシー
3-6．ナノインプリントリソグラフィの課題と対策
（1）加圧方式ナノインプリントリソグラフィ
（2）光硬化方式ナノインプリントリソグラフィ

4．最新のロードマップとレジストの技術展望、市場動向

公開セミナーの次回開催予定

開催日

【LIVE配信】2026/11/19（木） 10:30～16:30

【アーカイブ配信】11/24～11/30

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

受講料

非会員： 55,000円 （本体価格：50,000円）
会員： 49,500円 （本体価格：45,000円）

非会員の方は1名につき55,000円（税込み）です。
会員の方もしくは新規会員登録していただいた方の受講料は以下の通りです。
★1名で申込の場合、49,500円（税込）に割引になります。
★2名以上同時申込の場合、1名につき半額の27,500円（税込）に割引になります。
※参加者全員の会員登録が必要です。登録料や年会費などは一切かかりません。

上記金額はライブ配信、アーカイブ配信いずれかの受講料です。ライブ配信、アーカイブ配信両方視聴される場合は、会員価格で1名につき55,000円（税込）、2名以上同時申込で1名につき33,000円（税込）になります。メッセージ欄に「ライブとアーカイブ両方視聴」とご記入下さい。

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備考

• 本セミナーは「Zoom」を使ったWEB配信セミナーです。

• セミナー資料は郵送します。職場以外での受け取りを希望される場合はご住所をお知らせ下さい。
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