レジスト材料とリソグラフィ技術の最適化とトラブル解決策【提携セミナー】

　　セミナー　　半導体/電子　　レジスト材料とリソグラフィ技術の最適化とトラブル解決策【提携セミナー】

開催日時	【LIVE配信】2026/9/10（木） 10:30～16:30 , 【アーカイブ配信】9/11～9/18　（何度でも受講可能）
担当講師	花畑誠　氏
開催場所	【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。
定員	30名　※現在、お申込み可能です。満席になり次第、募集を終了させていただきます。
受講費	非会員： 55,000円（本体価格：50,000円）会員： 49,500円（本体価格：45,000円）

★レジスト材の高性能化、評価技術、最近のリソグラフィ技術について経験豊富な講師が徹底解説！

レジスト材料とリソグラフィ技術の

最適化とトラブル解決策

【提携セミナー】

主催：株式会社R&D支援センター

◆　受講対象・レベル

【１】レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売
【２】半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売
上記に従事されている方々（リーダークラスの方も歓迎です）

◆　習得できる知識

レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法
レジストの品質管理手法
レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力
リソグラフィープロセスの最適化方法
リソグラフィー使用現場におけるトラブル対応能力
素材メーカー、レジストメーカーとしての顧客対応能力

担当講師

（株）光機能材料研究所　代表取締役　工学博士　花畑誠　氏

【略歴】
1976年3月大阪大学大学院工学研究科応用化学専攻修了
1976年4月住友化学工業（株）【現：住友化学（株）】入社。フォトレジストの開発に従事
1997年8月（株）関西新技術研究所【現：（株）KRI】入社。主として電子材料に関する受託研究に従事
2006年4月日産化学工業（株）【現：日産化学（株）】入社。電子材料の企画開発、研究に従事
2014年4月富山県立大学工学部客員教授、神奈川大学工学研究科客員教授
2018年10月（株）光機能材料研究所代表取締役

セミナープログラム（予定）

１．リソグラフィの基礎
（１）リソグラフィーとは
（２）露光システムとリソグラフィー装置の変遷
（３）解像度向上技術とそれに必要な材料

２．レジスト材料とその高性能化
（１）パターンニング用レジスト材料（総論）
（２）G線、i線用レジスト
（３）KrF用レジスト
（４）ArFおよびArF液浸用レジスト
（５）EUV用レジスト
（６）後工程（実装材料）用のレジスト

３．レジスト製造技術と品質管理
（１）レジスト製造技術
（２）レジストの性能安定化技術
（３）品質管理－その項目と管理方法

４．レジスト材料の評価技術
（１）性能評価
素材（樹脂、感光剤、添加物）やレジストの簡便かつ安価な評価方法をご紹介します。
（２）品質評価
顧客からの要求項目、スペック項目についての評価方法を述べます。
（３）シミュレーション技術

５．レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
（１）素材（樹脂、感光剤、添加物）製造時のトラブル
（２）レジスト製造時のトラブル
（３）レジスト販売時のトラブル
（４）レジスト使用時のトラブル
上記のそれぞれについて、①原因、②評価方法、③解決策を、材料面およびリソグラフィープロセス面から述べ、あわせて顧客対応策について詳述します。

６．20nm以下のリソグラフィー技術
（１）ダブルパターンニング技術
（２）DSA技術とその材料
（３）ナノインプリント技術
（４）今後のリソグラフィー技術

【質疑応答】

公開セミナーの次回開催予定

開催日

【LIVE配信】2026/9/10（木） 10:30～16:30

【アーカイブ配信】9/11～9/18　（何度でも受講可能）

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

受講料

非会員： 55,000円（本体価格：50,000円）
会員： 49,500円（本体価格：45,000円）

非会員の方は1名につき55,000円（税込み）です。
会員の方もしくは新規会員登録していただいた方の受講料は以下の通りです。
★1名で申込の場合、49,500円（税込）に割引になります。
★2名以上同時申込の場合、1名につき半額の27,500円（税込）に割引になります。
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