研磨プロセスの見える化と最適化およびアシスト加工

-研磨のプロセスでは何が起こっているのか-

≪パッド、スラリー、コンディショナの作用機構の解明と研磨メカニズムの理解≫

【提携セミナー】

主催：サイエンス＆テクノロジー株式会社

受講可能な形式：【ライブ配信】のみ

CMP等の研磨プロセスとその副資材であるパッド、スラリー、コンディショナにも焦点をあてて解説
パッド、スラリー、コンディショナの役割、作用機構、相互関係、研磨レートとの関連、、、、
研磨はどう進行するのか、何に影響を受けるのか
研磨のメカニズムを知り、副資材の使い方を最適化し、設計・開発、高精度化につなげる

セミナー趣旨

研磨プロセスでは副資材としてパッド、スラリー、コンディショナが用いられます。それらを設計するには、当然のことながら、それらの作用機構を理解しておくことが望まれます。本セミナーでは、以下の3つの項目について事例（実験結果）を交えながら解説します。

（1）パッドの役割：パッドのアスペリティが研磨（特に研磨速度）にどのような影響を及ぼすか、をお話しします。さらに、そのアスペリティを適切に評価できる手法についても解説します。
（2）コンディショナの役割：パッドのアスペリティを適切に作る副資材がコンディショナです．コンディショナにも様々なタイプがありますが，4種類のコンディショナを例にしながら，それらの作用機構を解説します。
（3）スラリーの役割：研磨プロセスではパッドとウェーハの接触界面へ適切にスラリーが運搬され（流れ込み）、それに含まれる微細粒子によって研磨が進行します。それでは、そのスラリーの運搬はどのように行われているのか、について解説します。
それをマクロスケールで見た場合、ミクロスケールで見た場合を比較して，どのような現象が接触界面で行われているのか、を解説します．
また、これらの知見に基づいて、見える化技術の応用事例として、AI導入研磨装置の開発や，定盤と研磨ヘッドの負荷電流のみの情報から、リアルタイムで研磨レートと摩擦係数を同時予測する手法についてもご紹介します。
さらに、より高い研磨速度を確保するために開発してきたアシスト加工、とりわけオゾンガスナノバブルスラリー手法についても紹介します。

受講対象

研磨プロセスに関わる（比較的若手の）技術者，研究者

キーワード

：研磨プロセス パッド スラリー コンディショナ アシスト加工

担当講師

国立大学法人東海国立大学機構 岐阜大学　工学部　機械工学科　教授　博士（工学）　畝田 道雄　氏

セミナープログラム（予定）

• 自己紹介

• 研磨プロセスの概要

• パッド
  パッドアスペリティの測定・評価手法
  パッドアスペリティと研磨レートの関係
  注意事項

• コンディショナ
  コンディショナの概要と測定・評価手法
  砥粒配列の影響
  砥粒形状の影響
  コンディショナの作用機構

• スラリー
  研磨レートの定式化
  スラリー中における砥粒の流れ場解析
  解析結果と研磨レートの関係
  定式化に向けて
  動的接触観察によるスラリー流れ場
  砥粒接触位置の推定
  砥粒の移動速度と接触点の動き
  研磨レートとの対応関係

• 見える化技術の応用事例
  研磨メカニズム理解の終着点
  学習プロセスを導入した知能研磨システムの構築
  リアルタイム予測に向けて

• アシスト加工
  オゾンガスナノバブルスラリー手法
  遊星アシスト手法
  超音波アシスト手法

• おわりに

質疑応答

公開セミナーの次回開催予定

開催日

【ライブ配信】 2025年5月29日（木）  13:30～17:00

開催場所

【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。

受講料

一般受講：本体45,000円＋税4,500円
E-Mail案内登録価格：本体42,700円＋税4,270円

E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で49,500円 (2名ともE-Mail案内登録必須／１名あたり定価半額24,750円)

テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
1名申込みの場合：受講料39,600円( E-Mail案内登録価格 37,840円)

定価：本体36,000円＋税3,600円
E-Mail案内登録価格：本体34,400円＋税3,440円

※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。

※※お申込みフォームのメッセージ欄に【テレワーク応援キャンペーン希望】とご記載ください。
※他の割引は併用できません。

★【S&T会員登録】と【E-Mail案内登録】の詳細についてはこちらをご参照ください。

※E-Mail案内登録をご希望の方は、申込みフォームのメッセージ本文欄に「E-Mail案内登録希望」と記載してください。ご登録いただくと、今回のお申込みからE-mail案内登録価格が適用されます。

配布資料

PDFデータ(印刷可・編集不可)
※開催2日前を目安に、主催者サイトのマイページよりダウンロード可となります。
※アーカイブ配信受講の場合は配信開始日からダウンロード可となります。

オンライン配信のご案内

※【Live配信（zoom使用）対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

備考

※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。