・酸化物半導体TFT：大面積性・低温プロセス性により研究開発活発化

・ディスプレイ、フレキシブルデバイス応用や更なる高移動度化に向けて

酸化物半導体材料の特徴と作製・評価技術

【提携セミナー】

主催：株式会社情報機構

講師より
近年、酸化物半導体薄膜トランジスタはその高移動度・大面積性・低温プロセス性から、有機ELやスマートウオッチ等の次世代ディスプレイに向け活発な研究開発が行われており、量産導入が始まりつつあります。

本講演では酸化物半導体の形成方法から薄膜トランジスタ（TFT）作製プロセス、特性・信頼性に至る広範囲な解説に加え、酸化物半導体TFTによるフレキシブルデバイス応用や更なる高移動度化に関する最新動向・今後の展望等に関して解説します。

◆受講対象者

• 酸化物半導体材料や薄膜トランジスタに関する初学者ならびにその知見を深めたい方々。
• 酸化物半導体薄膜トランジスタの動作原理や特性変動・信頼性の要因に関する知見を深めたい方々。
• 材料メーカーや装置メーカーの技術者の方々

担当講師

高知工科大学 環境理工学群　教授
／総合研究所　ナノテクノロジー研究センター長 博士(工学)　古田 守 先生

1988～2005年　松下電器産業(株)、東芝松下ディスプレイテクノロジー(株)［現：(株)ジャパンディスプレイ］にて低温ポリシリコン薄膜トランジスタとその液晶ディスプレイ応用に関する研究開発から事業化に従事。
2005年から高知工科大学にて酸化物半導体による薄膜トランジスタの研究を中心に、酸化物半導体の材料物性・デバイス応用に関する研究に従事。Society for Information Display (SID)より 2006年「Distinguished Paper Award」、2021年「Special Recognition Award」、映像情報メディア学会より2011年 「丹羽高柳賞（論文賞）」を受賞。
■専門および得意な分野・研究
薄膜材料・デバイス／薄膜トランジスタ／フラットパネルディスプレイ
■本テーマ関連学協会での活動
薄膜材料デバイス研究会　組織委員
国際会議SSDM（Solid State Devices and Materials）プログラム委員
国際会議AM-FPD（Active-Matrix Fplatpanel Displays and Devices）プログラム委員
国際会議ITC（International Thin-Film Transistor Conference）プログラム委員

セミナープログラム（予定）

1.次世代ディスプレイに要求されるトランジスタの性能
1-1 次世代ディスプレイに必要とされるTFT移動度
1-2 酸化物TFT研究のこれまでの進展

2.酸化物半導体材料とその薄膜形成技術
2-1 非晶質酸化物半導体(IGZO)材料とその形成技術
2-2 酸化物半導体真性欠陥とその電気伝導に与える影響

3.酸化物半導体薄膜トランジスタ（TFT）技術
3-1 酸化物TFT作製プロセス
・ボトムゲート（ES／BCE）構造
・トップゲート（自己整合）構造
3-2 代表的な酸化物TFT(IGZO TFT)の特性
3-2 欠陥準位密度がIGZO TFT特性に与える影響
3-3 酸化物TFTの信頼性
・正ゲートバイアスストレス（PBTS）による特性劣化メカニズム
・光＋負ゲートバイアスストレス（NBIS）による特性劣化メカニズム
・ドレイン電流ストレスによる特性劣化メカニズム

4.酸化物TFTの今後の展望
4-1 低温プロセスによるフレキシブルデバイスへの展望
4-2 高移動度化に向けたアプローチと今後の展望

5.Q&A

＜Q&A・質問について＞
＊「Q＆A」への投稿をお願い致します。口頭質問も可能です。希望者のマイクを適宜開放致します。
（ご質問・反響を歓迎しております。オンラインではありますが、出来る限り双方向的にし、皆様のご要望に応えたいと存じます）
＊セミナー後の講師へのメール質問も可能です。（量や内容次第では回答しかねることもございます。ご了承くださいませ）

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2022年11月25日（金）　12:30-16:30

開催場所

Zoomによるオンラインセミナー

受講料

【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】：1名41,800円(税込、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円

【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】：1名47,300円(税込、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

　●録音・録画行為は固くお断り致します。

オンライン配信のご案内

★　Zoomによるオンライン配信

については、こちらをご参照ください

備考

配布資料・講師への質問等について
●配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
（開催1週前～前日までには送付致します）。
＊準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
（土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）

●当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
（全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり
無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

★【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】、【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】のいずれかから、ご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。