光デバイス向けMEMS加工技術の解説と応用事例【提携セミナー】
| 開催日時 | 2025/6/11（水）10:30~16:30 |
|---|---|
| 担当講師 | 戸津 健太郎 氏 |
| 開催場所 | Zoomによるオンライン受講 |
| 定員 | 30名 |
| 受講費 | 55,000円(税込) |
★光デバイス適用に向けた加工プロセスの構築、微細加工技術の解説
光デバイス向けMEMS加工技術の解説と応用事例
【提携セミナー】
主催：株式会社技術情報協会
講座内容
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)は、半導体微細加工技術を発展させて、基板上に回路だけでなくセンサや構造体あるいはアクチュエータなど多様なものを形成し、小形で高度な機能を持つ高付加価値の部品を実現する技術です。
その中で、光MEMSは、主にマイクロミラーを応用したディスプレイや光スイッチ、光スキャナなどとして活用されています。最近ではマイクロレンズアレイに代表されるマイクロオプティクスの作製技術としても注目されています。
本講演では、光デバイス向けのMEMS要素、加工技術とその応用について解説します。
習得できる知識
光デバイス適用に向けた加工プロセスの構築、微細加工技術について理解が深まる
担当講師
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター センター長 教授 博士（工学） 戸津 健太郎 氏
セミナープログラム（予定）
１．MEMSの概要と応用分野
２．MEMS微細加工プロセスの解説
2.1 リソグラフィ
2.2 エッチング
2.3 成膜
2.4 接合・複合プロセス・パッケージング
３．光デバイスとその作製例
４．MEMS応用の最新動向
５．東北大学試作コインランドリ、MEMSパークコンソーシアムの取り組み紹介
公開セミナーの次回開催予定
開催日
2025/6/11（水）10:30~16:30
開催場所
Zoomによるオンライン受講
受講料
1名につき55,000円(消費税込･資料付き)
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49,500円(税込)〕
備考
資料は事前に紙で郵送いたします。
お申し込み方法
★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。
※お申込後はキャンセルできませんのでご注意ください。
※申し込み人数が開催人数に満たない場合など、状況により中止させていただくことがございます。
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