ダイヤモンドウェハ作製技術開発の現状と課題【提携セミナー】

　　セミナー　　半導体/電子　　ダイヤモンドウェハ作製技術開発の現状と課題【提携セミナー】

開催日時	未定
担当講師	山田英明氏
開催場所	未定
定員	-
受講費	未定

○その物性から究極の半導体材料とも言われるダイヤモンド。

本セミナーでは実用化のネック、ウェハ作製技術に焦点を当てて解説。

○結晶成長の原理・CVD法等の基礎から、結晶拡大や欠陥評価といった結晶成長の実際、

切断や研磨技術などウェハ化の現状、今後の展望まで。

ダイヤモンドウェハ作製技術開発の現状と課題

【提携セミナー】

主催：株式会社情報機構

物質中最高水準の物性を複数有するダイヤモンドは、宝飾用途のみならず、機械的、熱的、電気的に優れた特長を産業応用することに期待されている。本講座では、その実用化においてネックとなる人工結晶作製技術開発の現状について概要から詳細にわたり解説する。

◆受講後、習得できること

ダイヤモンド人工結晶の現状
結晶成長・評価の基礎
CVD法の現状課題
周辺技術（シミュレーションの実際への活用法など）
など

◆受講対象者

本テーマに興味のある方なら、どなたでも受講可能です。

◆必要な予備知識など

この分野に興味のある方なら、特に予備知識は必要ない。

◆キーワード
ダイヤモンド、結晶成長、結晶加工、プラズマCVD、シミュレーション

担当講師

国立研究開発法人産業技術総合研究所
パワーエレクトロニクス研究センター・ダイヤモンドウェハチーム　研究チーム長
山田英明氏

セミナープログラム（予定）

１．ダイヤモンドの基礎知識
1）ダイヤモンドの構造的性質・物性
2）ダイヤモンドの人工合成技術概要
3）ダイヤモンドの応用展開まとめ

２．ダイヤモンドの結晶成長の基礎知識
1）人工結晶成長方法の原理
2）CVD成長法の実際

３．CVD装置や結晶成長技術向上の指針
1）種々パラメータへの依存性
2）数値シミュレーションの活用

４．ダイヤモンド半導体ウェハの結晶成長の実際
1）背景－従来の技術
2）ウェハ作製方法
3）結晶拡大技術
4）結晶欠陥評価
5）結晶成長機構
6）まとめ

５．ダイヤモンドウェハ化（加工技術）の現状
1）切断技術
2）研磨技術
3）その他

６．まとめ
1）まとめ
2）今後の課題

＜質疑応答＞

公開セミナーの次回開催予定

開催日

未定

開催場所

未定

受講料

未定

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備考

配布資料・講師への質問等について
●配布資料は、印刷物を郵送で送付致します。
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お申込みは4営業日前までを推奨します。
それ以降でもお申込みはお受けしておりますが（開催1営業日前の12:00まで）、
テキスト到着がセミナー後になる可能性がございます。

●当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
（全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり
無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。