半導体デバイス・プロセス開発の実際 ~前工程を中心に~(前編)
【LIVE配信】2024/3/18(月)10:30~16:30 , 【アーカイブ配信】3/19~4/2(何度でも受講可能)
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03-6206-4966
開催日時 | 2022/12/16(金) 10:30-16:30 |
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担当講師 | 永安 克志 氏 |
開催場所 | Zoomによるオンラインセミナー |
定員 | - |
受講費 | 【オンラインセミナー(見逃し視聴なし)】:47,300円 【オンラインセミナー(見逃し視聴あり)】:52,800円 |
【提携セミナー】
主催:株式会社情報機構
クリーンルームは意外と誤解されていることも多く、クリーンルームをきれいに保つためには、汚染の原因と改善するためのポイントをきちんと理解することが重要です。
クリーンルームの設計から汚染源の特定、換気の方法、衣服の管理、クリーンルームへの入室方法などクリーンルームを正しく管理するためのノウハウを分かりやすく、具体例を挙げて解説します。
■この講座を受講して得られる知見
株式会社 アメニティ・テクノロジー 代表取締役 永安 克志 氏
1.クリーンルームの構造の改善
1.1 クリーンルームとは
1.2 クリーンルームの規格
1.3 クリーンルームの構造
1.3.1 クリーンルームの仕組み
1.3.2 クリーンブースの仕組み
1.3.3 フィルタの仕組み
1.4 設計時に盛り込むこと
1.4.1 動線
1.4.2 ゾーン化
1.4.3 入退出室
1.5 クリーンルームの性能の改善
1.5.1 クリーンルームの二つの気流
1.5.2 清浄度は何できまるか?
1.5.3 換気回数とは?
1.5.4 室間差圧
1.5.5 静電気対策
1.5.6 動線例
2.クリーンルームに入る!入退室方法の改善
2.1 クリーンルーム発塵源
2.2 人体からの発塵
2.3 着衣室・脱衣室
2.4 クリーンルーム衣服(種類、性能、効果、管理)
2.4.1 発塵
2.4.2 洗濯
2.4.3 保管
2.4.4 寿命
2.5 手洗い・乾燥装置
2.6 エアーシャワーの効果(時間は? 速度は?)
2.7 クリーンルームに持ち込めないもの
3.クリーンルームの清掃方法の改善
~清掃方法のクリーンルームへの適応性、掃き掃除の三大要素、清掃方法による除去率の違い、掃除道具の管理、清掃の手順~
3.1 汚染・清掃とは
3.2 清掃の方法
3.3 拭き掃除の方法
3.3.1 ドライ清掃
3.3.2 ウェット清掃
3.4 ワイピングクロス
3.4.1 ワイピングクロスの種類
3.5 真空掃除機
3.5.1 真空掃除機の欠点
3.5.2 掃除の速度
4.クリーンルームのメンテナンス/計測
4.1 計測・メンテナンスの目的
4.2 計測して何がわかるか
4.3 フィルタの寿命
4.4 清浄度測定
4.5 風量・風速測定
4.6 室圧測定
4.7 気流の可視化
4.8 測定器原理
<質疑応答>
2022年12月16日(金) 10:30-16:30
Zoomによるオンラインセミナー
【オンラインセミナー(見逃し視聴なし)】:1名47,300円(税込(消費税10%)、資料付)
*1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円
【オンラインセミナー(見逃し視聴あり)】:1名52,800円(税込(消費税10%)、資料付)
*1社2名以上同時申込の場合、1名につき41,800円
*学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引。
●録音・録画行為は固くお断り致します。
●配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
(開催1週前~前日までには送付致します)。
*準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
(土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。)
●当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
(全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。)
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり
無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。
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