ＡＬＤ技術／ＡＬＥ技術の基礎と半導体材料・デバイスへの応用展開【提携セミナー】
おすすめのセミナー情報
| 開催日時 | 【Live配信（アーカイブ配信付き）】 2024/11/18（月） 10:00～16:00 |
|---|---|
| 担当講師 | 浦岡 行治 氏 |
| 開催場所 | 【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。 |
| 定員 | - |
| 受講費 | 通常申込：本体50,000円＋税5,000円 E-Mail案内登録価格：本体47,500円＋税4,750円 |
ＡＬＤ技術／ＡＬＥ技術の基礎と
半導体材料・デバイスへの応用展開
■薄膜形成技術、原子層堆積法、アトミックレイヤーエッチング■
【提携セミナー】
主催：サイエンス＆テクノロジー株式会社
受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ
★ アーカイブ受講のみもOKです。
★ 半導体プロセス技術・半導体デバイス技術における堆積・エッチングの原理・材料を基礎から学びます。
◆ はじめに：
AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、高機能な薄膜を形成することは、非常に重要である。
薄膜形成技術については、古くからいろいろな手法が開発され、LSI、ディスプレイ、太陽電池などのエレクトロニクスの分野で広く活用されてきた。
本セミナーでは、近年、特に注目を浴びているALD（原子層堆積）技術やALE（原子層エッチング）技術について、その基礎と応用について概説する。特に、堆積やエッチングの原理や材料について詳しく紹介する。また、ALDについては、LSI、薄膜トランジスタ、パワーデバイス、太陽電池に応用した時の特長や課題についても紹介する。
◆ 得られる知識：
- 薄膜形成・加工の物理・評価技術
- 半導体プロセス技術
- 半導体デバイス技術
- 信頼性評価技術
担当講師
奈良先端科学技術大学院大学 教授 浦岡 行治 氏
＜略歴＞
1985年 松下電器産業（パナソニック） 半導体研究センター
1994年 松下電器産業（パナソニック）液晶開発センター
1999年 奈良先端科学技術大学院大学 准教授
2009年 奈良先端科学技術大学院大学 教授
2023年 奈良先端科学技術大学院大学 マテリアル研究プラットフォームセンター長
応用物理学会フェロー
＜WebSite＞
https://mswebs.naist.jp/LABs/uraoka/PUBLIC/top/top.html
セミナープログラム（予定）
＜プログラム＞
１．薄膜形成技術
1.1 薄膜作製/加工の基礎
1.2 薄膜の評価手法
1.2.1 電気的評価
1.2.2 化学的分析手法
1.2.3 光学的評価手法
２．ALD技術の基礎
2.1 ALD技術の原理
2.2 ALD薄膜の特長
2.3 ALD技術の歴史
2.4 ALD装置の仕組み
2.5 ALD技術の材料
３．ALD技術の応用
3.1 パワーデバイスへの応用
3.2 酸化物薄膜トランジスへの応用
3.3 MOS LSIへの応用
3.4 太陽電池への応用
４．ALE技術の基礎
4.1 ALEの歴史
4.2 ALEの原理
５．ALE技術の応用事例
5.1 シリコン、窒化ガリウム等半導体材料への応用
5.2 シリコン酸化膜、窒化膜等絶縁膜への応用
5.3 Co等金属膜への応用
６．ALD/ALE技術の課題と展望
□質疑応答□
公開セミナーの次回開催予定
開催日
【Live配信（アーカイブ配信付き）】 2024年11月18日（月） 10:00～16:00
開催場所
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。
受講料
一般受講：本体50,000円＋税5,000円
E-Mail案内登録価格：本体47,500円＋税4,750円
E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で55,000円（2名ともE-Mail案内登録必須／１名あたり定価半額の27,500円）
テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
1名申込みの場合：受講料41,800円（E-Mail案内登録価格 39,820円）
定価：本体38,000円＋税3,800円 E-Mail案内登録価格：本体36,200円＋税3,620円
※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※※お申込みフォームのメッセージ欄に【テレワーク応援キャンペーン希望】とご記載ください。
※他の割引は併用できません。
★【S&T会員登録】と【E-Mail案内登録】の詳細についてはこちらをご参照ください。
※E-Mail案内登録をご希望の方は、申込みフォームのメッセージ本文欄に「E-Mail案内登録希望」と記載してください。ご登録いただくと、今回のお申込みからE-mail案内登録価格が適用されます。
配布資料
- PDFデータ(印刷可・編集不可)
※開催2日前を目安に、主催者サイトのマイページよりダウンロード可となります。
備考
※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。
特典
■Live受講に加えて、アーカイブでも１週間視聴できます■
【アーカイブの視聴期間】2024年11月19日(火)～11月25日(月)まで
※このセミナーはアーカイブ付きです。セミナー終了後も繰り返しの視聴学習が可能です。
アーカイブ(見逃し)配信について
※視聴期間は終了翌日から7日間を予定しています。またアーカイブは原則として編集は行いません。
※マイページからZoomの録画視聴用リンクにてご視聴いただきます。
お申し込み方法
★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。
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