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【半導体製造プロセス入門】PVD装置(スパッタリング装置)の要点解説 [成膜装置の基本③]
今回は、成膜装置のうち、気相成長装置としてPVD(物理的気相成長)装置について解説します。 1.PVD(物理的気相成長)とは? 気相成長装置には、エピタキシャル成長装置、CVD(化学的気相成長 …
スパッタリング薄膜の品質について
スパッタリング薄膜とは? スパッタリングは、いわゆる薄膜技術の一つで、しかも代表的な技術といえます。 半導体のウェハプロセスで使われる膜の多くがスパッタリング膜です。 また液晶ディスプレイやL …
技術のキホン
3分でわかる技術の超キホン 「薄膜」とは?
薄膜とは? 薄膜は「はくまく」と呼びます。文字通り、薄い膜のことです。 膜そのものとして独立したもの(フィルターなどで使う膜や、薄~く延ばされた金箔など)のことをいう場合もありま …
技術者向け「市場参入戦略」セミナー
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導入・活用事例
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