★ 各種材料における経時変化はどのように進んでいくのか？

大気圧プラズマによる表面改質とぬれ性改善

【提携セミナー】

主催：株式会社技術情報協会

講座内容

・大気圧プラズマの装置原理と表面処理
・大気圧プラズマによる樹脂・ガラスの表面処理技術

習得できる知識

・大気圧プラズマの原理・特徴と応用
・表面改質の原理、メカニズム
・ウエット工程前処理の考え方
・プラズマ表面改質の経時変化と保持の考え方
・大気圧プラズマの発生法の基礎知識
・大気圧プラズマ表面処理の具体的方法
・大気圧プラズマ表面処理の産業応用例

担当講師

【第１部】(株)魁半導体 技術部 課長 登尾 一幸 氏
(株)魁半導体 プロセス開発部 指導役 山原 基裕 氏
【第２部】大阪公立大学 大学院工学研究科 機械系専攻 教授 大久保 雅章 氏

セミナープログラム（予定）

(10:30-12:30)
「大気圧プラズマの装置原理と表面処理」
(株)魁半導体 登尾 一幸 氏
(株)魁半導体 山原 基裕 氏
【習得できる知識】
・大気圧プラズマの原理・特徴と応用
・表面改質の原理、メカニズム
・ウエット工程前処理の考え方
・プラズマ表面改質の経時変化と保持の考え方
【講座の趣旨】
大気圧プラズマの装置の種類と特徴及び表面改質に注目し、プラズマ照射により材料表面で生じている現象や界面化学の観点による解説から、表面改質や機能性発現技術の基礎ついて解り易く解説する。
１．真空プラズマと大気圧プラズマ　（登尾）
1.1 プラズマの基礎
1.2 プラズマ発生の原理
1.3 各プラズマの特徴

２．大気圧プラズマの種類　（登尾）
2.1 放電方式による分類と各方式の特徴
2.2 ダメージフリーなプラズマの生成

３．大気圧プラズマ装置の特徴　（登尾）
3.1 装置としての特徴
3.2 具体的応用例、開発例紹介

４．大気圧プラズマによる表面改質の原理　（山原）
4.1 大気圧プラズマによる表面改質メカニズム
4.2 表面改質条件による表面状態

５．表面科学・界面化学と濡れ性　　（山原）
5.1 濡れ性について
5.2 ウエット工程の前処理の考え方

６．親水性表面処理　　（山原）
6.1 各種材料に於ける親水性処理について
6.2 親水性表面の機能性と応用について

７．処理効果の経時変化　　（山原）
7.1 各種材料に於ける親水性処理効果の経時変化
7.2 経時変化のメカニズム
7.3 処理効果保持技術とその考え方

８．まとめと今後の課題　　（山原）

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(13:30-16:30)　※途中、小休憩含む
「大気圧プラズマによる樹脂・ガラスの表面処理技術」
大阪公立大学 大久保 雅章 氏
【習得できる知識】
・大気圧プラズマの発生法の基礎知識
・大気圧プラズマ表面処理の具体的方法
・大気圧プラズマ表面処理の産業応用例
【講座の趣旨】
本セミナーでは，はじめに大気圧プラズマの発生方法と発生メカニズムの基礎について実例をあげわかりやすく解説します。次に講師が開発した大気圧プラズマ複合表面処理プロセスの基礎と産業応用例を，分野の最新動向を交えながらわかりやすく解説します。事例として，樹脂，ガラス，ポリマーなどのプラズマ表面処理を選択解説し，受講後，類似の開発を直ちに始めることができるような具体的情報を提供します。

【大気圧プラズマ発生法の基礎知識】
１．大気圧プラズマの発生方法と発生メカニズムの基礎
1.1 大気圧プラズマと発生法
1.2 プラズマとは？
1.3 プラズマの種類
1.4 パルス放電方式
1.5 無声放電方式（誘電体バリア放電方式）
1.6 オゾン発生装置
1.7 電流電圧電力波形
1.8 沿面放電方式
1.9 高周波プラズマ方式
1.10 プラズマジェット電極
1.11 コロナ放電プラズマ装置と電子回路
1.12 その他各種プラズマジェットとプラズマ医療
＜質疑応答＞

【大気圧プラズマ表面処理の産業応用技術】
２．大気圧プラズマ複合プロセスによるフッ素樹脂フィルムの接着性向上技術
2.1 フッ素樹脂の特性
2.2 プラズマグラフト重合とは
2.3 フッ素樹脂フィルム処理の実験装置と実験条件
2.4 接触角による親水性評価
2.5 はく離試験による接着性評価
2.6 ESCA（XPS）による表面分析評価
2.7 FT-IRによる表面分析評価
2.8 電子顕微鏡による表面写真撮影
2.9 従来技術（ナトリウム－アンモニア処理等）との比較
2.10 テフロン表面へのめっきについて（プラズマ複合めっき処理）
2.11 大面積処理装置の実現
2.12 テフロン上めっきのフォトリソグラフィによる微細加工
2.13 A4コロナ表面処理のデモンストレーション
＜質疑応答＞、試作サンプル紹介

３．大気圧プラズマジェットと医療への応用，殺菌技術
3.1 医療への応用例
3.2 プラズマ照射装置のその他の応用（低温殺菌技術など）
3.3 低温プラズマ殺菌の試験結果

４．大気圧プラズマ複合プロセスによるガラス表面およびポリマー表面の恒久的処理技術
4.1 自動車のフロントガラスやサイドミラーの水滴除去
4.2 ガラス表面の改質装置
4.3 プラズマのみを照射した場合（親水性向上）
4.4 プラズマ・ケミカル複合プロセスによる恒久的はっ水処理
4.5 恒久的表面処理のメカニズムについて
4.6 フッ素樹脂フィルム上有機EL膜の発光特性

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2022/8/17（水）10:30~16:30

開催場所

Zoomによるオンライン受講

受講料

1名につき 55,000円(消費税込､資料付)
〔1社2名以上同時申込の場合のみ1名につき49,500円〕

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