スパッタリングの基礎から品質向上のポイント、トラブル対策・最新トピックス【提携セミナー】

スパッタリングの基礎_品質向上のポイント

スパッタリングの基礎から品質向上のポイント、トラブル対策・最新トピックス【提携セミナー】

開催日時 2021/2/5(金)13:00-17:00
担当講師

小島 啓安 氏

開催場所

Zoomによるオンラインセミナー

定員 -
受講費 【オンラインセミナー(見逃し視聴なし)】:41,800円
【オンラインセミナー(見逃し視聴あり)】:47,300円

《経験豊富な講師によるわかりやすい解説!》

★オンライン開催ですが、口頭・チャットでの質疑応答や適宜ホワイトボードを用いた解説も行います。

 

スパッタリングの基礎から品質向上のポイント、
トラブル対策・最新トピックス

 

~パルス電源・マグネトロン/カソード技術から、反応性スパッタなどの高速成膜技術まで~

 

【提携セミナー】

主催:株式会社情報機構

 


 

スパッタリングは、再現性がよく、大面積にも均一に成膜でき、低温においても密着性良く、成膜プロセスとして大きな広がりを見せている技術です。化合物膜中でも酸化物や窒化物の透明膜においては応用製品が多く、高速成膜によるコストダウンが大きなインパクトを与えています。高速成膜制御技術と低ダメージカソード技術の組み合わせにより、プラスチック基板を用いた軽くて薄いフレキシブル基板への成膜が容易にできるようになりました。ロールtoロールプロセスとロータリーカソードを用いた低ダメージ技術、高速成膜技術について詳細に紹介し、またスパッタ技術動向についても解説します。特に最近注目されている技術として、HIPIMS電源を用いたスパッタについて丁寧に解説します。

 

◆ 受講対象者:

  • スパッタリングを経験した人、バリア膜、透明導電膜、光学薄膜などの開発者、またこれらに興味のある方

 

◆ 必要な予備知識:

  • 高校卒業レベルの、化学、物理の知識
  • 真空に関わる基礎知識

 

◆ 本セミナーで習得できること:

  • スパッタリングに関する基礎知識
  • 反応性スパッタ
  • 高速成膜の基礎及び制御方法
  • ロータリーカソードの構造、原理、低ダメージの原理
  • スパッタリング成膜でのトラブル対処
  • 製造現場の品質向上対策
    など

 

担当講師

有限会社アーステック 代表取締役 / 名古屋大学 客員教授 小島 啓安 氏

 

セミナープログラム(予定)

1.スパッタリングの特徴
・表面処理と成膜法
・蒸着膜とスパッタ膜の違い
・スパッタリングの原理
・ロールコーターとインラインコーター

 

2.パルス電源
・アーキングの原理
・パルスの種類
・パルスと膜構造
・HIPIMS電源

 

3.マグネトロン技術
・アンバランスドマグネトロン
・磁力線分布
・対称磁場と非対称磁場

 

4.カソード技術
・ロータリーカソード
・デュアルカソード
・AC放電
・磁場リンク
・低ダメージカソード

 

5.高速成膜技術
・反応性スパッタ
・ヒステリシス曲線
・遷移領域制御
・プラズマエミッション制御
・インピーダンス制御

 

6.スパッタリング膜の品質向上策・トラブルシューティング
・パーティクルの発生原因と対策
・内部応力のメカニズムと低減策
・密着性を向上させ剥がれにくい膜を作るには?
・均一な膜を作るための制御手法

 

7.応用商品
・透明導電膜
・バリア膜(量子ドット液晶など)
・ソーラーコントロール膜(集熱、省エネなど)
・光学膜
・トピックス

 

8.質問
著書「現場のスパッタリング薄膜Q&A」の質問などありましたら解説します。

 

■ ご講演中のキーワード:
反応性スパッタリング、パルス電源、アーキング、ロータリーカソード、アクティブアノード、ロールtoロール、遷移領域制御、高速成膜

 

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2021年2月5日(金) 13:00-17:00 *途中、小休憩を挟みます。

 

開催場所

【Live受講】 Live配信セミナー(リアルタイム配信) ※会社・自宅にいながら学習可能です※

 

オンライン配信のご案内

★ Zoomによるオンライン配信

★ 見逃し視聴

 

については、こちらをご参照ください

 

受講料

  • 【オンライン受講(ライブ配信):見逃し視聴なし】:1名41,800円(税込(消費税10%)、資料付)

*1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円

  • 【オンライン受講(ライブ配信):見逃し視聴あり】:1名47,300円(税込(消費税10%)、資料付)

*1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

 

学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引

 

配布資料

  • 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
    (開催1週前~前日までには送付致します)。
    *準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
    (土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。)

 

備考

  • 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
    (全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。)
  • 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。
  • ご受講前に必ず本ページ内の「ライブ配信」の詳細を確認下さい。

 

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

★【オンラインセミナー(見逃し視聴なし)】、【オンラインセミナー(見逃し視聴あり)】のいずれかから、ご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。

 

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