○更なる適用拡大・研究開発進む、EUVリソグラフィについてレジストを中心に解説！

○EUVリソグラフィの各要素技術の基本と課題から、EUVレジストへの要求特性と設計指針、

最新市場・技術動向、注目技術メタルレジストの詳細解説まで。

EUVリソグラフィ・レジストの基礎・

最新開発動向から現状課題と展望まで

【提携セミナー】

主催：株式会社情報機構

メモリー、マイクロプロセッサ等の半導体の高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっており、2022年には3nmロジックノード（最小パターン線幅12nm）を迎えた。EUVリソグラフィ、EUVレジストは、この最先端デバイスに使用され、今後も主流技術となっていく。

本講演では、リソグラフィの基本、リソグラフィ技術の変遷、ロードマップとリソグラフィ技術、最先端デバイスの動向を示した後、3nmロジックノード以降を支えるEUVリソグラフィの最新技術を述べる。EUVレジストについて、基礎（特徴、要求特性、設計指針など）、最新技術（課題と対策、開発動向と性能など）、最新動向を詳細に解説する。EUVレジストの最新技術では、注目されているメタルレジストを詳細に解説する。最後にEUVリソグラフィ、EUVレジストの今後の展望、EUVレジストの市場動向についてまとめる。

◆受講後、習得できること

• リソグラフィの基本
• ロードマップと対応するリソグラフィ技術の把握
• EUVリソグラフィの基礎知識、最先端技術
• EUVレジストの基礎知識、最先端技術
• EUVレジストの要求特性、設計指針
• EUVレジストの課題と対策
• EUVレジストのビジネス動向
  など

◆受講対象者

• 本テーマに興味のある企業の研究者、技術者、製造販売担当、新規事業開発担当、企画担当、特許担当、市場アナリスト、特許アナリストの方
• これらの職種を希望される学生の方

◆必要な予備知識など

• 基本から解説しますので予備知識は不要です。

担当講師

大阪大学　産業科学研究所　招聘教授　遠藤 政孝 先生

1983年松下電器産業株式会社入社。以来同社半導体研究センター、パナソニック株式会社セミコンダクター社プロセス開発センターにて、半導体リソグラフィプロセス、レジスト、微細加工用材料の開発に従事。
2009年から大阪大学産業科学研究所にて、レジスト材料、EUVレジストの研究開発に従事。

セミナープログラム（予定）

１．ロードマップとリソグラフィ技術
1）リソグラフィの基本
2）リソグラフィ技術の変遷
a）ArF液浸リソグラフィ
b）ダブル/マルチパターニング
3）ロードマップ：IRDS
a）リソグラフィへの要求特性
b）レジストへの要求特性
4）微細化に対応するリソグラフィ技術の選択肢
5）最先端デバイスの動向

２．EUVリソグラフィの最新技術
1）EUVリソグラフィの特徴
2）EUVリソグラフィの基本と課題
a）露光装置
b）光源
c）マスク
d）プロセス
3）EUVリソグラフィのトピックスと今後の動向

３．EUVレジストの基礎
1）EUVレジストの特徴
a）EUVレジストの反応機構
b）KrF/ArFレジストとの比較
2）EUVレジストの要求特性
3）EUVレジストの設計指針
a）EUVレジスト用ポリマー
b）EUVレジスト用酸発生剤

４．EUVレジストの最新技術
1）EUVレジストの課題と対策
a）感度/解像度/ラフネスのトレードオフ
b）ランダム欠陥（Stochastic Effects）
2）EUVレジストの開発動向と性能
a）分子レジスト
b）ネガレジストプロセス
c）ポリマーバウンド酸発生剤を用いる化学増幅型レジスト
d）フッ素含有ポリマーレジスト
3）EUVメタルレジスト
a）メタルレジストの特徴
b）メタルレジストの性能
c）メタル増感剤
4）EUVレジストの今後の動向

５．EUVリソグラフィ、EUVレジストの今後の技術展望

６．EUVレジストの市場動向

＜質疑応答＞

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2023年8月29日（火）　10:30-16:30　＊途中、お昼休みや小休憩を挟みます。

開催場所

Zoomによるオンラインセミナー

受講料

【オンライン：見逃し視聴なし】　1名47,300円(税込、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

【オンライン：見逃し視聴あり】　1名52,800円(税込、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき41,800円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

オンライン配信のご案内

★　Zoomによるオンライン配信

については、こちらをご参照ください

備考

※配布資料・講師への質問等について

●配布資料は、印刷物を郵送で送付致します。
お申込の際はお受け取り可能な住所をご記入ください。
お申込みは4営業日前までを推奨します。
それ以降でもお申込みはお受けしておりますが（開催1営業日前の12:00まで）、
テキスト到着がセミナー後になる可能性がございます。

●当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
（全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり
無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

★【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】、【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】のいずれかから、ご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。