EUV光源技術の研究開発・高効率化【提携セミナー】

EUV光源技術の研究開発・高効率化【提携セミナー】

開催日時 未定
担当講師

東口 武史 氏

開催場所 未定
定員 -
受講費 未定

・EUVリソグラフィーの露光・光源技術を解説!

・半導体は「産業のコメ」から「産業のブレイン」へ

・高性能化・省エネ化を急ぐ

 

EUV光源技術の研究開発・高効率化

 

≪次世代半導体リソグラフィーに向けて≫

 

【提携セミナー】

主催:株式会社情報機構

 


 

AI, IoT, EV,次世代ディスプレイ,スマートシティー,省エネなどSDGsを意識した活動が盛んです.しかし,物資不足で,いまや「半導体」という言葉を「半導体不足」という言葉とともに聞かない日はありません.「産業のコメ」と呼ばれた半導体素子は「産業のブレイン」と言われるまでになりました.EUVリソグラフィーが登場し,半導体素子の高性能化・省エネ化が加速しています.

 

本講座では,EUVリソグラフィーの露光と光源について平易にお話する予定です.

 

◆受講後、習得できること

  • EUVの基礎知識・特徴
  • EUV光源技術:仕組み・原理
  • EUV光源の高効率化の研究
  • 次世代半導体リソグラフィーへの応用研究

 

◆受講対象者

  • EUV光について学習したい方
  • 半導体リソグラフィーへの応用を検討している方 等

 

担当講師

宇都宮大学 工学部 基盤工学科
情報電子オプティクスコース コース長 教授 博士(工学) 東口 武史 先生

 

宮崎大学助手,宇都宮大学助教,准教授を経て,教授.現在,工学部基盤工学科情報電子オプティクスコース長 (2023年度).
これまで,米国ブルックヘブン国立研究所,英国オックスフォード大学, アイルランド国立大学ダブリン校,チェコ科学アカデミー物理学研究所で客員教授,客員研究員.
高繰り返しレーザー,EUV光源,光計測,医用生体工学などの研究に従事している.

 

セミナープログラム(予定)

1.EUVリソグラフィーとは
1.1 半導体素子の回路線幅の微細化と高集積化
~最近の動向を概説~
1.2 露光用光源とは

 

2.EUV光源の原理と各種光源の機構
2.1 EUV光源の原理
2.2 各種EUV光源

 

3.レーザー生成プラズマEUV光源
3.1 光源の物理と技術
3.2 装置構成

 

4.Beyond EUV (BEUV) 光源
4.1 beyond EUV (BEUV) 光源とは?
4.2 BEUV光源の現状と課題

 

5.まとめ

 

6.今後の展開

 

<質疑応答>

※口頭で質問したい方へは、その際にマイク使用を許可します
※「Q&A」への質問コメント投稿も、遠慮なくお願いします。

 

公開セミナーの次回開催予定

開催日

未定

 

 

開催場所

未定

 

受講料

未定

 

 

●録音・録画行為は固くお断り致します。

 

オンライン配信のご案内

★ Zoomによるオンライン配信

については、こちらをご参照ください

 

備考

※配布資料・講師への質問等について

●配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
(開催1週前~前日までには送付致します)。
*準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
(土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。)

 

●当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
(全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。)
●本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり
無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

 

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

★【オンラインセミナー(見逃し視聴なし)】、【オンラインセミナー(見逃し視聴あり)】のいずれかから、ご希望される受講形態をメッセージ欄に明記してください。

 

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