ダイヤモンド半導体の基礎とデバイス応用【提携セミナー】

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半導体材料として注目のダイヤモンド！

国内外の研究動向を踏まえ、課題および今後の展望についてわかりやすく解説。

ダイヤモンド半導体の基礎とデバイス応用

【提携セミナー】

主催：株式会社情報機構

ダイヤモンドは、極めて高い電子及び正孔の移動度、熱伝導率、そして絶縁破壊電界を持つことから、省エネ・低炭素社会の実現に資する革新的なパワーデバイス材料として期待されています。

本講演では、半導体材料としてのダイヤモンドの魅力、そしてダイヤモンド半導体研究の歴史について概説し、ダイヤモンドウェハ、ダイオード、トランジスタ応用に関する国内、海外の研究開発状況を踏まえ、課題および展望について、我々の研究成果を中心に解説します。

◆受講後、習得できること

◆受講対象者

金沢大学ナノマテリアル研究所　教授（リサーチプロフェッサー）
博士（工学）徳田規夫氏

1．はじめに
1）ダイヤモンドの魅力
2）ダイヤモンドの応用
3）ダイヤモンドパワー半導体の必要性
4）ダイヤモンド半導体研究の歴史

2．ダイヤモンドウェハ製造技術
1）成長技術
a) 高温高圧法
b) プラズマCVD法
c) 熱フィラメントCVD法
2）不純物ドーピング技術
a) ホウ素
b) リン
c) 窒素
3）ダイヤモンド加工技術
a) レーザーカット
b) スライス
c) 研磨
d) 平坦化

3．ダイヤモンドダイオード
1）ショットキーバリアダイオード
2）PN接合ダイオード
3）ショットキーPNダイオード

4．ダイヤモンドトランジスタ
1）BJT
2）JFET
3）MESFET
4）MOSFET
a) 水素終端型
b) Deep depletion型
c) 反転層型

5．まとめと今後の展望

未定

未定

未定

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