＜半導体加工技術での高機能薄膜の形成へ＞
ＡＬＤ（原子層堆積法）技術の基礎・入門と応用展開

■今注目のALD（原子層堆積）とALE（原子層エッチング）を基礎から詳しく解説■

【提携セミナー】

主催：サイエンス＆テクノロジー株式会社

受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ

★ 堆積やエッチングの原理や材料を学びます。
★ ALDでは、LSI、薄膜トランジスタ、パワーデバイス、太陽電池に応用した時の特長や課題も解説！

セミナー趣旨

AIや5GなどIoT技術の進歩を支えている半導体加工技術において、高機能な薄膜を形成することは、非常に重要である。

薄膜形成技術については、古くからいろいろな手法が開発され、LSI、ディスプレイ、太陽電池などのエレクトロニクスの分野で広く活用されてきた。

本セミナーでは、近年、特に注目を浴びているALD（原子層堆積）技術やALE（原子層エッチング）技術について、その基礎と応用について概説する。特に、堆積やエッチングの原理や材料について詳しく紹介する。また、ALDについては、LSI、薄膜トランジスタ、パワーデバイス、太陽電池に応用した時の特長や課題についても紹介する。

＜得られる知識・技術＞

• 薄膜形成・加工の物理・評価技術
• 半導体プロセス技術
• 半導体デバイス技術
• 信頼性評価技術

担当講師

奈良先端科学技術大学院大学 教授　浦岡 行治　氏

【経歴】
1985年　松下電器産業株式会社（現パナソニック）半導体研究センター
1995年　同社　液晶開発センター
1999年　奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 助教授
2009年　奈良先端科学技術大学院大学　物質創成科学研究科　教授
・応用物理学会フェロー
・IEEE　シニアメンバー
・IEEE/EDS　関西支部チェアー
・IEEE/AMFPD　実行委員長
・薄膜材料デバイス研究会組織委員
【WebSite】
https://mswebs.naist.jp/LABs/uraoka/PUBLIC/top/top.html

セミナープログラム（予定）

＜プログラム＞
１．薄膜形成技術
1.1　薄膜作製/加工の基礎
1.2　薄膜の評価手法
1.2.1　電気的評価
1.2.2　化学的分析手法
1.2.3　光学的評価手法

２．ALD技術の基礎
2.1　ALD技術の原理
2.2　ALD薄膜の特長
2.3　ALD技術の歴史
2.4　ALD装置の仕組み
2.5　ALD技術の材料

３．ALD技術の応用
3.1　パワーデバイスへの応用
3.2　酸化物薄膜トランジスへの応用
3.3　MOS LSIへの応用
3.4　太陽電池への応用

４．ALE技術の基礎
4.1　ALEの歴史
4.2　ALEの原理

５．ALE技術の応用事例
5.1　シリコン、窒化ガリウム等半導体材料への応用
5.2　シリコン酸化膜、窒化膜等絶縁膜への応用
5.3　Co等金属膜への応用

６．ALD/ALE技術の課題と展望

　　□質疑応答□

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2023年6月28日（水）  10:00～16:00

開催場所

Live配信セミナー(会社・自宅にいながら受講可能)

受講料

一般受講：本体45,000円＋税4,500円
E-Mail案内登録価格：本体42,700円＋税4,270円

E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須／1名あたり定価半額24,750円)

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
1名申込みの場合：受講料( 定価：39,600円／E-mail案内登録価格 37,620円 )

定価：本体36,000円＋税3,600円
E-mail案内登録価格：本体34,200円＋税3,420円

※１名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※※お申込みフォームのメッセージ欄に【テレワーク応援キャンペーン希望】とご記載ください。
※他の割引は併用できません。

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配布資料

• PDFテキスト(印刷可・編集不可)
  ※開催2日前を目安に、弊社HPのマイページよりダウンロード可となります。

特典

■Live受講に加えて、アーカイブでも１週間視聴できます■
【アーカイブの視聴期間】2023年6月29日(木)～7月5日(水)まで
このセミナーはアーカイブ付きです。セミナー終了後も繰り返しの視聴学習が可能です。

オンライン配信のご案内

※【Live配信（zoom使用）対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

備考

※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

お申し込み方法

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