PFAS規制の動向と半導体業界への影響、対応状況、今後の方向性【提携セミナー】
| 開催日時 | 未定 |
|---|---|
| 担当講師 | 礒部 晶 氏 |
| 開催場所 | 未定 |
| 定員 | 未定 |
| 受講費 | 未定 |
★EUの規制案の検討状況を中心に海外・国内のPFAS規制の最新動向を解説
半導体製造でPFASが使われている工程、処理方法の現状、そして代替可能性を探る
PFAS規制の動向と
半導体業界への影響、対応状況、今後の方向性
【提携セミナー】
主催：株式会社技術情報協会
講座内容
PFASについてはニュースでもしばしば取り上げられるようになり、一般の関心も高くなっている。POPs条約で規定されている一部の有害なPFASについては日本国内では化審法により規制されている。一方、EUではREACH規則による全面的な使用制限が検討されており、今後の動向に注目が集まっている。本講ではPFAS規制の海外国内の動向、特にEUの包括規制案の動向について解説する。また、PFASは様々な用途に用いられ、半導体製造工程でもその応用は多岐にわたっている。PFASが用いられていると考えられる工程の内容とその代替可能性、排水処理方法の現状等について解説する。
習得できる知識
- PFASとは何か
- 国内外のPFAS規制条約法令の動向
- PFASが用いられる半導体工程の詳細
- 半導体PFAS代替の動向
- 半導体工場の排水処理システム
担当講師
(株)ISTL 代表取締役社長 礒部 晶 氏
セミナープログラム（予定）
１．PFASとは？
・PFASの定義
・国内・海外のPFAS関連ニュース
・製品ライフサイクルとPFASの人体・環境への影響
２．PFAS規制の動向
・ストックホルム条約
・国内の規制～化審法、水道法
・欧州の規制～REACHの包括規制案の状況
・米国の規制
３．PFASの分析技術・処理技術
・分析方法～LC-MS／MS、GC-MS／MS
・総量分析
・焼却処理
・その他の処理方法
４．半導体産業への影響
・半導体とは？
・半導体製造プロセス
・3Mショック
・PFAS使用工程
・ドライエッチング～チラーの冷媒
・リソグラフィー～フォトレジストの添加剤、ペリクル材料
・ウエットエッチング～エッチング液の添加剤
・超純水配管
・後工程部材～モールド材、DAF、パッケージ基板材料
・半導体工場の排水・廃液処理システム
・排水管理基準
・半導体材料・部材メーカーの対応状況
・半導体企業の対応状況
公開セミナーの次回開催予定
開催日
未定
開催場所
未定
受講料
未定
備考
資料は事前に紙で郵送いたします。
お申し込み方法
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