EUVレジスト・EUVメタルレジストの基礎・最新開発動向から現状課題と展望まで【提携セミナー】

　　セミナー　　半導体/電子　　電子部品/デバイス　　EUVレジスト・EUVメタルレジストの基礎・最新開発動向から現状課題と展望まで【提携セミナー】

開催日時	2025/12/12 (金)　10:30-16:30　＊途中、お昼休みや小休憩を挟みます。
担当講師	遠藤政孝氏
開催場所	Zoomによるオンラインセミナー
定員	-
受講費	【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】：1名50,600円(税込（消費税10％）、資料付) 【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】：1名56,100円(税込（消費税10％）、資料付)

EUVレジスト・EUVメタルレジストの

基礎・最新開発動向から現状課題と展望まで

【提携セミナー】

主催：株式会社情報機構

○EUVレジスト・リソグラフィの基礎や要求特性から最新ロードマップ・市場動向、最先端の開発動向や現状課題と展望までを包括的に解説。
○トピックスであるEUVメタルドライレジストプロセス、アンダーレイヤー、光分解性クエンチャーなども取り上げます！

■はじめに：

メモリー、マイクロプロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い、益々大きくなっている。微細加工を支えるリソグラフィ技術は現在最先端の3nmノードの量産工程でEUVが用いられており、今年度の2nmノード以降その役割は益々増大する。EUVレジストはこのようなEUVリソグラフィ技術の変革に対応して進展し続けている。

本講演では、最新（2024年版）のロードマップ（IRDS）とEUVリソグラフィの概要を紹介した後、EUVレジスト・EUVメタルレジストの基礎と要求特性、課題と対策、最新技術動向を解説する。トピックスとなっている高NA露光装置、アンダーレイヤー、光分解性クエンチャー、EUVメタルドライレジストプロセスについても詳しく述べる。最後に今後のEUVレジストの技術展望、市場動向についてまとめる。

◆受講後、習得できること

EUVレジスト・EUVメタルレジストの基礎知識・最先端技術
EUVリソグラフィの基礎知識・最先端技術
EUVレジスト・EUVメタルレジストの要求特性
EUVレジスト・EUVメタルレジストの課題と対策
EUVレジスト・EUVメタルレジストのビジネス動向
など

◆受講対象者

本テーマに興味のある企業の研究者、技術者、製造販売担当、新規事業開発担当、企画担当、特許担当、市場アナリスト、特許アナリストの方
これらの職種を希望される学生の方

◆必要な予備知識など

基本から解説しますので予備知識は不要です。

担当講師

Eリソリサーチ　代表　遠藤政孝氏

講師紹介
1983年松下電器産業株式会社入社。以来同社半導体研究センター、パナソニック株式会社セミコンダクター社プロセス開発センターにて、半導体リソグラフィプロセス、レジスト、微細加工用材料の開発に従事。2009年から大阪大学産業科学研究所にて、レジスト材料、EUVレジストの研究開発に従事。
2024年からEリソリサーチを設立。レジスト、リソグラフィ、先端パッケージのコンサルティング、技術調査、講演活動を実施。

セミナープログラム（予定）

１．ロードマップ（IRDS）
1）リソグラフィ技術、レジスト材料への要求特性
2）微細化に対応するリソグラフィ技術の選択肢
3）最先端デバイスの動向

２．EUVリソグラフィの概要
1）露光装置
a）高NA露光装置
2）光源
3）マスク

３．EUVレジストの基礎
1）EUVレジストの設計指針
2）化学増幅型EUVレジストの反応機構
3）EUVレジストプロセス
a）アンダーレイヤー

４．EUVレジストの要求特性
1）化学増幅型EUVレジスト用ポリマー
2）化学増幅型EUVレジスト用酸発生剤・クエンチャー
a）光分解性クエンチャー

５．EUVレジストの課題と対策
1）感度/解像度/ラフネスのトレードオフ
2）ランダム欠陥（Stochastic Effects）
3）EUVレジストの開発動向
a）ポリマーバウンド酸発生剤を用いる化学増幅型レジスト
b）ネガレジストプロセス

６．EUVメタルレジスト
1）EUVメタルレジスト用材料
2）EUVメタルレジストの反応機構
3）EUVメタルレジストの性能と開発動向

７．EUVメタルドライレジストプロセス
1）EUVメタルドライレジストプロセス用材料
2）EUVメタルドライレジストプロセスの反応機構
3）EUVメタルドライレジストプロセスの性能と開発動向

８．EUVレジストの技術展望、市場動向

＜質疑応答＞

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2025年12月12日(金)　10:30-16:30　＊途中、お昼休みや小休憩を挟みます。

開催場所

Zoomによるオンラインセミナー

受講料

【オンライン受講（見逃し視聴なし）】：1名 50,600円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき39,600円

【オンライン受講（見逃し視聴あり）】：1名 56,100円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき45,100円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

●録音・録画行為は固くお断りいたします。

オンライン配信のご案内

★　Zoomによるオンライン配信

については、こちらをご参照ください

配布資料

●配布資料は、印刷物を郵送で1部送付いたします。

お申込みの際にお受け取り可能な住所を必ずご記入ください。
郵送の都合上、お申込みは4営業日前までを推奨します。（土、日、祝日は営業日としてカウントしません。）
それ以降でもお申込みはお受けしておりますが（開催1営業日前の12:00まで）、その場合、テキスト到着がセミナー後になる可能性がございます。ご了承の上お申込みください。
資料未達の場合などを除き、資料の再配布はご対応できかねますのでご了承ください。