表面観察・分析装置を用いた電子部品の

不具合箇所の特定・観察・解析と不良対策

≪SEM/EDX(EDS)/EPMA(WDX/WDS)による電子部品の不具合箇所の見つけ方≫

■SEM/EDX(EDS)、EPMAの基礎知識■

■不具合解析での断面研磨観察のノウハウ■

■併わせて活用すると有効な解析手段■

【提携セミナー】

主催：サイエンス＆テクノロジー株式会社

受講可能な形式：【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ

SEM・EDX・EMPAを用いた電子部品の不具合解析に関する知識を解説
各分析機器の原理・特徴・得手不得手などを学びつつ、情報量の最大化・高感度化にするためのノウハウを伝授
また表面分析に必要な分析箇所の特定や試料の鏡面研磨手法などの具体的な作業手順・ポイントも解説

セミナー趣旨

不具合箇所の解析において、比較的身近な表面観察・分析装置であるSEMを中心として、EDX／EPMAの活用について、その原理・特徴、得手不得手を明らかにしながら、観察・分析で得られる情報量の最大化・高度化のためのノウハウをお伝えします。前記、情報量の最大化・高度化のために必須な不具合箇所断面の鏡面研磨方法について、具体的な作業手順・ポイントについて解説いたします。また、併用することで有効な解析手法についても説明いたします。さらには、解析結果を特許出願～登録に繋げた事例を紹介いたします。

得られる知識

• SEM/EDX(EDS)、EPMAの基礎知識
• 不具合解析での断面研磨観察のノウハウ
• 合わせて活用すると有効な解析手段

受講対象

• 日ごろから、SEM/EDXを活用している方
• 不具合解析などでSEM/EDXを使用しているが、さらに情報量の最大化、高度化を目指している方

担当講師

栗原光技術士事務所　代表　技術士(化学部門・総合技術監理部門)　栗原 光一郎　氏

セミナープログラム（予定）

1．SEMの使いこなし方
1-1 破断面だけの観察では情報が限られる
1-2 上（一方向）からだけの観察では本来見えるものも逃してしまう
1-3 加速電圧で見え方が全然違う
1-4 スケールの信頼性を確かめ方

2．EDX（EDS）を活用する
2-1 分析方法の得手不得手＜EDXとEPMA（WDX）＞
（主元素が目立って、微量成分は見えにくい）
2-2 得られているＸ線情報は表面のピンポイントからではない
2-3 定量性・マッピングの精度を上げる方法

3．EPMA(WDX/WDS)元素分析で補完
3-1 微量成分の高感度検出と定量性向上（EDXの欠点を補う）
3-2 線分析の活用＜界面・境界の情報を得る＞

4．分析箇所の特定と試料の鏡面研磨
4-1 観察/分析箇所（断面研磨箇所）の決定方法
4-2 分析・解析すべき試料の準備
4-3 樹脂に埋め込んで鏡面研磨
4-4 具体的研磨手順・方法

5．SEM/EDXに基づく不良対策

6．様々な解析手段活用で総合的判断
6-1 マイクロフォーカスＸ線透視像
6-2 超音波探傷／超音波イメージング
6-3 その他

7．解析結果からの特許出願

□質疑応答

公開セミナーの次回開催予定

開催日

【Live配信】 2024/3/29（金） 13:00～16:30

【アーカイブ配信】 2024/4/11（木） まで受付(視聴期間：4/11～4/24）

開催場所

【Live配信】 オンライン配信セミナー
【アーカイブ配信】 オンライン配信セミナー

受講料

一般受講：本体45,000円＋税4,500円
E-Mail案内登録価格：本体42,700円＋税4,270円

E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で49,500円 (2名ともE-Mail案内登録必須​／１名あたり定価半額24,750円)

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
1名申込みの場合：受講料( 定価：37,400円／E-mail案内登録価格 35,640円 )

定価：本体34,000円＋税3,400円
E-mail案内登録価格：本体32,400円＋税3,240円

※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。

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配布資料

PDFデータ(印刷可・編集不可)
※開催2日前を目安に、S＆T会員のマイページよりダウンロード可となります。
※アーカイブ配信受講の場合は配信開始日からダウンロード可となります。

オンライン配信のご案内

※【Live配信（zoom使用）対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

※【WEBセミナー：アーカイブ受講対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

備考

※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

お申し込み方法

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