★ 成膜条件の解説、膜はがれ、クラック対策と緻密な膜の作り方

スパッタリングによる

薄膜形成と膜質の改善、トラブル対策

【提携セミナー】

主催：株式会社技術情報協会

講座内容

スパッタ膜に関して、製造現場や開発現場で日々要求される改善、トラブル対策に直接役立つように、できるだけ詳細に具体的に解説します。
そのための、実務に役立つように、関連した基礎知識をわかりやすく解説します。
また、参加者が現在抱えている課題などに対しても、丁寧に解説したいと思います。

習得できる知識

• スパッタリング成膜プロセスについて理解が深まる

担当講師

(有)アーステック　代表取締役　 名古屋大学　客員教授　博士(工学)　 小島 啓安 氏

セミナープログラム（予定）

１．スパッタリングの基礎知識

1.1 スパッタの原理

1.2 蒸着とスパッタの違い（各成膜ファクター詳細比較）

1.3 平均自由行程

1.4 密着性・・・　内部応力、評価

２．スパッタリングの重要要素技術

2.1 パルス電源

2.2 マグネトロン技術

2.3 高速成膜技術

2.4 ロータリーカソード

2.5 トピックス・・・HIPIMS 、シミュレーション、ガスフロースパッタ

３．スパッタリング応用編

3.1 スパッタ応用製品例

3.2 スパッタに関する改善、対策例

①ターゲット利用率を上げるには？

②アーキングを減らすには？

③アノード消失を防ぐには？

④コストを下げるには？

⑤密着性を上げるには？

⑥緻密な膜を作るには？

４．参加者からの質疑応答

＜事前質問も受け付けます、開催日の2週間前にはお知らせください＞

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2023/1/20（金）10:30~16:30

開催場所

Zoomによるオンライン受講

受講料

1名につき55,000円(消費税込･資料付き)

〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49,500円(税込)〕

技術情報協会主催セミナー　受講にあたってのご案内

• Live配信セミナーの接続確認・受講手順は こちら をご確認ください。
• お申込み・お支払い方法に関するご案内はこちら をご確認ください。

備考

資料は事前に紙で郵送いたします。

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。

※お申込後はキャンセルできませんのでご注意ください。

※申し込み人数が開催人数に満たない場合など、状況により中止させていただくことがございます。