半導体ウェット洗浄技術の基礎と最先端技術

■なぜ半導体ウェット洗浄が必要か？■　■どのように半導体ウェット洗浄を行うのか？■

■洗浄の技術トレンド／乾燥の技術トレンド■　■次世代半導体の洗浄課題、先端洗浄・乾燥技術■

【提携セミナー】

主催：サイエンス＆テクノロジー株式会社

受講可能な形式：【Live配信】のみ

★ 洗浄技術だけでなく乾燥技術にも焦点をあてて基礎から最新技術トレンドまで解説いたします。

セミナー趣旨

半導体製造において、品質/歩留まりを向上するために洗浄は欠かすことができない工程です。その洗浄技術の基礎から先端半導体向け最新技術までを本セミナーで解説します。まずは半導体洗浄の装置種類や薬液種類に関する基礎的な内容を詳しく説明します。これにより、洗浄対象物や洗浄原理が理解できます。その後、次世代半導体の構造や材料の変化に伴う洗浄課題に触れていきます。最先端の半導体の洗浄が従来の半導体洗浄に比べ難易度が高い理由について解説します。また洗浄後は、濡れたウエハ表面をデバイスに悪影響なく乾かす必要があるため、乾燥も重要なプロセスです。

本セミナーでは、「洗浄」だけでなく「乾燥」にも焦点を当て、基礎から最新にわたる技術トレンドを紹介します。

＜得られる知識、技術など＞

• 半導体製造におけるウェット洗浄の役割を基礎から理解できる
• 半導体ウェット洗浄に使用される装置や薬液種類や洗浄原理が理解できる
• 先端半導体に要求される洗浄技術の課題や最新の洗浄技術が理解できる

担当講師

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
洗浄開発統轄部 開発戦略部 開発戦略課 プロセス戦略リーダー　岩畑 翔太　氏

＜経歴＞
2014～ (株)SCREENセミコンダクターソリューションズ
2018～2021 Imec(ベルギーの半導体研究機関) 駐在3年
＜WebSite＞
https://www.screen.co.jp/spe/

セミナープログラム（予定）

＜プログラム＞
１．なぜ半導体ウェット洗浄が必要か
1.1 基本的な半導体製造プロセス
1.2 ウェット洗浄の位置づけ
1.3 ウェット洗浄の除去対象

２．どのように半導体ウェット洗浄を行うか
2.1 洗浄装置の種類
2.2 洗浄薬液の種類
2.3 洗浄原理

３．洗浄の技術トレンド
3.1 洗浄と半導体の歴史
3.2 従来の洗浄技術
3.3 スプレー洗浄

４．乾燥の技術トレンド
4.1 乾燥と半導体の歴史
4.2 従来の乾燥技術
4.2.1 IPA乾燥
4.2.2 表面改質

５．次世代半導体の洗浄課題
5.1 半導体デバイスのトレンド
5.2 洗浄の技術的課題
5.2.1 ロジックデバイス
5.2.2 メモリデバイス
5.2.3 貼り合わせウエハ
5.3 洗浄装置に求められる機能

６．先端洗浄・乾燥技術
6.1 最新の洗浄技術
6.1.1 固化洗浄
6.1.2 狭所洗浄
6.1.3 選択エッチング
6.2 最新の乾燥技術
6.2.1 昇華乾燥
6.2.2 構造観察手法

７．まとめ

□質疑応答□

公開セミナーの次回開催予定

開催日

【Live配信】 2024/2/27（火）13:00～16:30

開催場所

【Live配信】 オンライン配信セミナー

受講料

一般受講：本体45,000円＋税4,500円
E-Mail案内登録価格：本体42,700円＋税4,270円

E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須／1名あたり定価半額24,750円)

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
1名申込みの場合：受講料( 定価：37,400円／E-mail案内登録価格 35,640円 )

定価：本体34,000円＋税3,400円
E-mail案内登録価格：本体32,400円＋税3,240円

※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※※お申込みフォームのメッセージ欄に【テレワーク応援キャンペーン希望】とご記載ください。
※他の割引は併用できません。

★【S&T会員登録】と【E-Mail案内登録】の詳細についてはこちらをご参照ください。

※E-Mail案内登録をご希望の方は、申込みフォームのメッセージ本文欄に「E-Mail案内登録希望」と記載してください。ご登録いただくと、今回のお申込みからE-mail案内登録価格が適用されます。

配布資料

PDFテキスト(印刷可・編集不可)
※開催2日前を目安に、主催者サイトのマイページよりダウンロード可となります。

オンライン配信のご案内

※【Live配信（zoom使用）対応セミナー】についてはこちらをご参照ください

備考

※講義中の録音・撮影はご遠慮ください。
※開催日の概ね1週間前を目安に、最少催行人数に達していない場合、セミナーを中止することがございます。

お申し込み方法

★下のセミナー参加申込ボタンより、必要事項をご記入の上お申し込みください。