洗浄技術と洗浄プロセス最適化の総合知識
【Live配信】2024/4/26(金) 10:30~16:30 , 【アーカイブ配信】 2024/5/14(火) まで受付(視聴期間:5/14~5/27)
お問い合わせ
03-6206-4966
開催日時 | 2024/4/18(木)13:00~16:00 |
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担当講師 | 佐藤 雅伸 氏 |
開催場所 | 【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。 |
定員 | - |
受講費 | 非会員: 49,500円 (本体価格:45,000円) 会員: 46,200円 (本体価格:42,000円) |
☆半導体洗浄の装置・薬液の種類といった基礎的な内容から、
次世代半導体の洗浄課題、洗浄・乾燥の最新技術について解説します!
【提携セミナー】
主催:株式会社R&D支援センター
◆セミナー趣旨
半導体製造において、品質/歩留まりを向上するために洗浄は欠かすことができない工程です。その洗浄技術の基礎から先端半導体向け最新技術までを本セミナーで解説します。
まずは、半導体洗浄の装置種類や薬液種類に関する基礎的な内容を詳しく説明します。これにより、洗浄対象物や洗浄原理が理解できます。
その後、次世代半導体の構造や材料の変化に伴う洗浄課題に触れていきます。最先端の半導体の洗浄が従来の半導体洗浄に比べ難易度が高い理由について解説します。
また洗浄後は、濡れたウエハ表面をデバイスに悪影響なく乾かす必要があるため、乾燥も重要なプロセスです。本セミナーでは、「洗浄」と「乾燥」の2つのテーマに対する過去から最新にわたる技術トレンドを紹介します。
◆習得できる知識
◆受講対象
◆必要な前提知識
◆キーワード
半導体洗浄,乾燥,次世代半導体,洗浄装置,講演,セミナー,研修
(株)SCREENセミコンダクターソリューションズ 洗浄開発統轄部 修士 佐藤 雅伸 氏
【専門】
プロセス、シミュレーション
1.なぜ半導体洗浄が必要か
1-1. 基本的な半導体製造プロセス
1-2. 半導体製造における洗浄の位置づけ
1-3. 洗浄対象物
2.どのように半導体洗浄を行うか
2-1. 洗浄装置の種類
2-2. 洗浄薬液の種類
2-3. 洗浄原理
3.次世代半導体の洗浄
3-1. 半導体デバイスのトレンド
3-2. 洗浄の技術的課題
3-3. 洗浄装置に求められる機能
4.洗浄の技術トレンド
4-1. 過去の洗浄技術
4-2. 最新の洗浄技術
5.乾燥の技術トレンド
5-1. 過去の乾燥技術
5-2. 最新の乾燥技術
6.まとめ
2024年04月18日(木) 13:00~16:00
【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。
非会員: 49,500円 (本体価格:45,000円)
会員: 46,200円 (本体価格:42,000円)
会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で49,500円(税込)から
★1名で申込の場合、46,200円(税込)へ割引になります。
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