★ 水素、アンモニア、希ガス、CO2の精製・回収！　ガス中微量水分の分析！

半導体製造に向けた高純度ガスの精製、分析技術

【提携セミナー】

主催：株式会社技術情報協会

講座内容

半導体製造に向けた高純度ガスの精製・分析技術に関して、精製装置のラインナップ、MOFを用いたガス精製装置及びそれらの技術について説明します。また、高純度ガス中の残留水分の微量分析はなぜ難しいのか、どのようにすれば信頼性の高い分析結果が得られるのかについて、できるだけ分かりやすく解説します。

担当講師

大陽日酸(株)　技術開発ユニット　山梨ソリューションセンター　ガス分離開発部　主任研究員 足立 貴義 氏
SyncMOF(株)　取締役副社長 兼 最高技術責任者(CTO)　博士(理学)　堀 彰宏 氏
(国研)産業技術総合研究所　物質計測標準研究部門　ガス･湿度標準研究グループ　上級主任研究員　博士(理学)　阿部 恒 氏

セミナープログラム（予定）

【10:30-12:00】
１．半導体製造に向けた高純度ガスの精製技術
大陽日酸(株)　技術開発ユニット　山梨ソリューションセンター　ガス分離開発部　主任研究員 足立 貴義 氏
【専門】ガス分離精製

【習得できる知識】
・半導体向け高純度ガス用の精製装置のラインナップと精製方式
・半導体向け精製技術の開発内容

１．大陽日酸
1.1 大陽日酸について
1.2 大陽日酸のエレクトロニクス事業

２．精製装置
2.1 高純度不活性ガス精製装置
2.2 高純度不活性ガス精製装置　CH4除去タイプ
2.3 高純度酸素ガス精製装置
2.4 高純度水素ガス精製装置
2.5 高純度水素ガス精製装置（ゲッター式）
2.6 高純度水素ガス精製装置（低温式）
2.7 高純度希ガス精製装置（ゲッター式）
2.8 高純度アンモニアガス精製装置
2.9 高純度CO2精製装置
2.10 高純度Air精製装置
2.11ラインピュリファイヤー

３．高純度ガス精製装置モデルチェンジ
3.1 Puremate-1000 series
3.2 Puremate-1400 series
3.3 まとめ

４．高純度精製技術の開発
4.1 新規吸着剤の開発
4.2 高流速精製技術の開発
4.3 まとめ

【質疑応答】

【13:00-14:30】
２．MOFを用いたガス精製装置の特徴とその応用
SyncMOF(株)　取締役副社長 兼 最高技術責任者(CTO)　博士(理学)　堀 彰宏 氏

１．自己集積型ナノポーラス材料・MOF

２．高機能ナノポーラス材料の開発を目的とした最先端物性測定技術
2.1 放射光を用いたMOFおよび吸着ガス分子の可視化技術
2.2 高機能MOF材料の設計

３．MOFの応用
3.1 CO2ガスの濃縮(DAC技術から工業排ガス回収技術)
3.2 アンモニア回収技術、希ガス回収技術

【質疑応答】

【14:45-16:15】
３．半導体製造に用いられる高純度ガス中の微量水分分析
(国研)産業技術総合研究所　物質計測標準研究部門　ガス･湿度標準研究グループ　上級主任研究員　博士(理学)　阿部 恒 氏
【専門】湿度標準

【習得できる知識】
微量水分分析の基礎、微量水分分析の注意点、信頼性の高い微量水分分析法

【講座の趣旨】
高純度ガス中の残留水分の微量分析は他成分の微量分析に比べて困難です。なぜ難しいのか、どのようにすれば信頼性の高い分析結果が得られるのかについて、できるだけ分かりやすく解説します。

１．微量水分の基礎
1.1 微量水分とは
1.2 微量水分分析の必要性
1.3 微量水分分析の難しさ
1.4 微量水分分析の問題点

２．微量水分の分析器
2.1 鏡面冷却式露点計
2.2 静電容量式センサー
2.3 五酸化リン式水分計
2.4 水晶発振式水分計
2.5 APIMS
2.6 TDLAS
2.7 CRDS
2.8 検量線の要否

３．微量水分の計測標準
3.1 計測標準とは
3.2 測定の不確かさ
3.3 微量水分標準

４．計測結果の信頼性
4.1 各種分析器の性能評価例
4.2 信頼性の高い微量水分分析のために

【質疑応答】

公開セミナーの次回開催予定

開催日

2024/6/18（火）10:30~16:15

開催場所

Zoomによるオンライン受講

受講料

1名につき60,500円(消費税込･資料付き)
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき55,000円(税込)〕

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